판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9389932

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 반도체 제조에 사용되는 고속 원자로입니다. 이 제품은 여러 가지 첨단 기술을 결합하여, 칩 제조업체가 엄격한 마감 시한과 까다로운 정확성 요구를 충족할 수 있도록 비용 효율적인 고성능 (HPS) 솔루션을 제공합니다. CONCEPT 2 Speed는 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장비로 비교할 수없는 균일 성, 필름 스트레스 제어 및 증착 속도 기능으로 신속한 등각 필름 증착을 가능하게합니다. 이 원자로는 고성능 증착 결과를 제공하는 여러 가지 통합 기능을 사용합니다. 여기에는 차폐형 쇼어 헤드 챔버, 폐쇄 루프 RF 생성기 제어 및 개별화 된 쿼츠 프로세스 컴포넌트 온도 제어가 장착 된 Krytox ™ 직접 증착 드럼이 포함됩니다. 빠른 가스 교환 기능은 프로세스 안정성과 효율적인 가스 목표 사용을 보장합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed에는 실시간 기판 매핑 시스템 및 고급 프로세스 제어 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이를 통해 원자로는 현장의 기판을 모니터링하고 매핑 데이터 (mapping data) 를 사용하여 필요에 따라 프로세스 매개변수를 정확하게 조정하여 완벽한 결함이없는 필름 증착을 보장합니다. CONCEPT 2 Speed는 또한 2 구역 처리 전략을 통해 뛰어난 균일성과 정확한 두께 제어를 제공합니다. 이를 통해 기판의 에치 레이트를 빠르게 조정하여 "레이어 온 레이어 (layer-on-layer)" 및 "하향식 (bottom-up)" 제조 프로세스를 수용하여 엄청나게 높은 처리량을 제공합니다. 반응 구역은 방사성 차폐 (radiative shielding) 와 통합되어 매우 낮은 기질 온도를 유지하면서 높은 수준의 전달 효율성을 보장합니다. 효율성 및 비용 효율성을 더욱 향상시키기 위해 이 장치에는 CMS (Chemical Manangement Machine) 가 내장되어 있으며, CMS (Chemical Manangement Machine) 는 화학 공정의 각 구성 요소를 자동으로 모니터링하고 제어합니다. 이는 반응성 프로세스 전체에서 품질, 고압 및 온도 제어를 보장합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 오늘날 시장에서 가장 발전된 원자로 중 하나입니다. 이 제품은 차세대 프로세스를 위한 비용 효율적이고 고성능 툴을 필요로 하는 반도체 (Semiconductor) 제작업체에 적합합니다. 고급 기능은 향상된 제어 기능, 정확한 정확성, 고효율 증착 결과를 제공하여 칩 제조업체가 가장 까다로운 어플리케이션도 충족할 수 있도록 도와줍니다.