판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9358724

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 고성능 집적 회로의 정밀 에칭에 사용하도록 설계된 생산 수준, 고도로 자동화 된 멀티 챔버, 이온 빔 에칭 원자로입니다. CONCEPT 2 Speed는 생산 수준 설정에서 최고의 반복성과 기판 균일성을 제공합니다. 안정성이 높고 구성성이 뛰어나며 고급 일관성 있는 IBE (Ion Beam Etch) 성능을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 단일 챔버 (single-chamber) 원자로 설정에서 뛰어난 품질과 반복성을 제공하도록 최적으로 설계되었습니다. 높은 정밀도, 반복성을 갖춘 고성능 집적회로를 에칭할 수 있다. CONCEPT 2 Speed는 높은 균일성 듀얼 FOUP 기술을 자랑하는 멀티 이온 빔 (multi-ion beam) 구성을 사용하여 전체 기판 범위에서 높은 균일성을 제공합니다. 기판의 전체 너비에 걸쳐 깊이 에치 레시피 (etch recipe), 최고 수준의 정확도 및 제어 (Control) 기능을 생산하도록 제작되었습니다. 에치 챔버 (etch chamber) 는 이중 벽으로, 내부 온도가 안정적이고 일관성을 유지하기 위해 별도의 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 또한 연산자가 에칭 프로세스를 최적화 할 수있는 추가 기능을 제공합니다. 독립 스테이지 및 챔버 (chamber) 제어를 위해 구성할 수 있으며, 특정 기판에 사용자 지정 설정이 필요한 경우 완벽한 유연성을 제공합니다. 또한 다양한 액티브 제어 알고리즘 (active control algorithm) 을 사용하여 에칭 프로세스의 성능을 향상시킬 수도 있습니다. 여기에는 에칭 환경의 변경 사항을 조정하고 에칭 성능을 최적화하기 위해 실시간 피드백 제어를 사용하는 AIC (Adaptive IBE Control) 가 포함됩니다. CONCEPT 2 Speed의 혁신적인 설계를 통해 더 큰 기판 처리량, 빠른 처리 주기, 뛰어난 신뢰성을 얻을 수 있습니다. 에칭 (etching) 프로세스의 성능을 추적하는 진단 (diagnostic) 기능이 장착되어 있어 프로세스가 일관되고 최적화되어 있는지 확인합니다. 현장 지원 서비스 팀 (Onsite Support Services Team) 은 업계에서 탁월한 성능을 자랑하며 고객에게 탁월한 기술 및 운영 통찰력을 제공합니다. 독특한 디자인과 기능을 갖춘 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 하이엔드 집적 회로를위한 최고의 IBE 에칭 원자로입니다.