판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9301536

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor는 매우 낮은 온도 프로세스를 위해 특별히 설계된 증착 시스템입니다. NOVELLUS Systems, Inc.에서 개발 한 CONCEPT 2 Speed Reactor는 하이브리드 선형 음극을 갖춘 단일 챔버 도구이며 DC 펄스 아크로 구동됩니다. 이 독특한 디자인은 약 125 ° C ~ 175 ° C 범위의 온도에서 프로세스를 실행 할 수 있으며 산화물에서 질화물, 또는 금속, 실리사이드 및 실리콘 관련 물질로 구성된 개별 층으로 구성된 더 넓은 종류의 물질을 증착 할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor는 단일 장치에서 여러 프로세스를 수행하도록 설계되었습니다. 여기에는 필름 증착, 챔버 청소, 가스 분배 및 전극 처리가 포함됩니다. 각 프로세스를 독립적으로 또는 순차적으로 실행하여 프로세스 조건을 최적화할 수 있습니다. 원자로는 또한 탈착식 챔버 (removable chamber) 로 설계되어 효율적이고 정확한 품질 제어 분석을 가능하게 합니다. CONCEPT 2 Speed Reactor에는 자동 샤워 헤드 구성도 내장되어 있습니다. 이 로 말미암아 공정 "가스 '를" 와퍼' 표면 의 온도 조절 뿐 아니라 약실 전체 의 "가스 '도 분포 할 수 있다. 또한, 음극 조립물은 금속 또는 금속 실라이제 증착을위한 2 개의 상호 교환 가능한 구성 요소로 설계되었습니다. 두 가지 구성 요소를 통해 개별 또는 이중 프로세스 전원 튜닝을 수행할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor는 NOVELLUS의 이전 원자로 시스템보다 더 큰 발자국을 가지고 있습니다. 이렇게 하면 인터페이스 영역이 커지고 프로세스 최적화에 중요한 기능 (예: 균일성 향상, 반복 가능성 향상) 에 더 큰 영역을 제공합니다. 원자로는 또한 웨이퍼 (wafer) 나 부품에 손상을 줄 수있는 입자 (particle) 나 오염 물질을 제거하기위한 뛰어난 깨끗한 기술을 제공합니다. 콘셉트 2 스피드 리액터 (CONCEPT 2 Speed Reactor) 는 자체 포함 환경에서 작동하여 진공 시스템의 필요성을 제거하여 공정 비용을 절감합니다. 또한, 원자로는 공정 가스 유량이 매우 낮으며, 공정 가스 (process gase) 의 효율적인 사용을 위해 구성 될 수있다. 그리고 그 설계로 인해, 원자로는 단일 챔버 시스템 (single-chamber system) 과 하나의 진공 소스 (vacuum source) 로 여러 프로세스를 실행할 수 있습니다. 결론적으로 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor는 초저온 프로세스에 적합한 도구입니다. 이전 NOVELLUS 모델에 비해 더 큰 설치 공간을 가지며 하이브리드 선형 음극 (hybrid linear cathode) 및 자동 샤워 헤드 (automatic showerhead) 구성으로 설계되어 균일성 및 반복성을 향상시킵니다. 또한 단일 단위로 여러 프로세스를 처리 할 수 있습니다. CONCEPT 2 Speed Reactor는 탁월한 청정 기술을 제공하며, 프로세스 가스 흐름 속도가 낮아 매우 효율적입니다.