판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9238452

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 개선 된 부품 균일성 및 향상된 제조 처리량을 제공하기 위해 설계된 고급 이중 가공 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 박막 코팅 (Thin Film Coating) 증착을 위해 시판되는 가장 발전된 PECVD 시스템 중 하나입니다. CONCEPT 2 Speed PECVD 원자로는 RF가 지원되는 비 열 플라즈마 (non-thermal plasma) 가있는 이중 처리 챔버를 사용하여 뛰어난 균일 성과 특성을 가진 균일 한 코팅 층을 만듭니다. 2 속도 (2 Speed) 시스템은 2 개의 교대 공정 챔버와 2 개의 개별 RF 생성기를 사용하여 뛰어난 레이어 정확도, 균일성 및 표면 품질을 제공하며, 이는 단일 챔버 시스템에 비해 향상된 필름 제어, 반복 가능성 및 정확성을 제공합니다. 이 PECVD 시스템은 높은 정확도 공정 가스 계량 및 제어를 특징으로하며, 이는 프로세스 제어 및 균일성을 향상시키기 위해 적절한 작업 매개변수와 기판 균일성을 보장합니다. 또한 다이렉트 플라즈마 제너레이터 (direct plasma generator) 를 제공하여 프로세스 챔버 오염을 줄이고 뛰어난 반복성을 제공합니다. 광범위한 프로세스 가스 구성 (process gas composition) 및 챔버 압력 (chamber pressure) 을 제공하여 복잡한 토폴로지를 위해 여러 레이어를 증착할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 또한 고밀도 코팅에 대한 향상된 여과를 제공합니다. 따라서 청소 (cleaning) 및 건조 주기 (drying cycle) 를 추가하지 않아도 되어 비용 절감 효과와 더불어 처리량이 늘어납니다. 또한, 철저하게 모니터링 된 기판 온도 조절이 특징이며, 이는 결함 형성을 줄이는 데 도움이됩니다. CONCEPT 2 Speed PECVD 시스템은 다양한 산업의 클린 룸 및 생산 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 반도체 가공, 평면 패널 디스플레이, 자동차, 옵토 전자 및 장식 코팅을 포함하여 용도에 산화물, 질화물, 카바이드 및 불소와 같은 코팅에 적합합니다.