판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9182380

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ID: 9182380
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
CVD-HDP System, 8" Includes: LEYBOLD Pump Generators: (2) CLF-5000 (2) PDX-8000 (3) RFG-5500 TM: Magnatran 7 TMH260 MC1 CH1: TMP – TMH1600 Match-AMU10E-2 CH2: TMP – TMH1600 Match-AMU10E-2 CH3: TMP – TMH2101 Match-Mercury-3013 RPS3L NTM500 EPD MC1 2005 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 차세대 증착 장비로, 특히 응용 프로그램 별 집적 회로 (ASIC) 설계 생산을 위해 설계되었습니다. 박막 재료의 선택적 증착을 제공하는 전문 청소실 환경입니다. 이 시스템은 복잡한 집적 회로 (integrated circuit) 의 제조성을 향상시키는 제어 및 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. CONCEPT 2 Speed는 단일 작동 장치로, 한 번에 최대 150 개의 웨이퍼를 처리 할 수있는 진공 챔버를 갖추고 있습니다. 이 기계 는 "실리콘 '질화물 이나 구리 와 같은 재료 층 을 정밀도 와 균일 함 으로 증착 시키도록 설계 되었다. 따라서 최종 제품에 결함이 적고, 특성이 일관되게 유지됩니다. 또한 부식 및 다른 형태의 오염에 더 강한 고급 재료 (high-grade material) 의 사용을 지원합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed의 가장 주목할만한 기능 중 하나는 복잡한 증착 시퀀스를 실행하는 기능입니다. 공구 구성에 따라, 단일 웨이퍼 (wafer) 또는 웨이퍼 배치 (batch of wafer) 에 대해 여러 배치 단계를 구성할 수 있습니다. 에셋은 또한 온도, 증착률, 증착 필름 두께 (deposition film thickness) 와 같은 매개변수의 개별 튜닝을 허용합니다. 이러한 종류의 매개변수 제어 (parameter control) 의 도움으로, 제조업체는 모델을 조정하여 필요한 레이어의 종류를 정확하게 생성 할 수 있습니다. CONCEPT 2 Speed에는 인력을 보호하고 오염을 방지하는 안전 기능도 포함되어 있습니다. 방호장비· 방패 (방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방패· 방화 등 위기의 흔적을 확인해주는 모니터링 장비다. 또한, 이 장치는 최적의 프로세스 조건을 유지하기 위해 환경 챔버 (environmental chamber) 로 설계되었습니다. 이것은 퇴적 과정에서 먼지 입자 및 기타 공기 오염 물질이 교란되지 않도록 보장합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed (NOVELLUS CONCEPT 2 Speed) 는 업계에서 탁월한 성능과 정확성을 제공하도록 설계된 혁신적이고 신뢰할 수있는 증착기입니다. 첨단 증착 (Advanced Deposition) 프로세스를 최첨단 안전 및 환경 보호 (Environmental Safety) 와 결합하여 안정적이고 효율적이며 사용자에게 비용 효율적인 툴을 제공합니다. 그 결과, 정밀 "칩 '과 부품 을 안정적 이고 일관성 있는 방법 으로 생산 하려고 하는 사람 들 에게 이상적 인 해결책 이다.
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