판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146625

노벨 러스 컨셉트 2 스피드 리액터 (NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor) 는 반도체 제작 프로세스의 속도를 높이고 최종 제품의 일관성을 높이기 위해 설계된 특수 장비 중 하나입니다. 이 장비 는 집적 "회로 '," 메모리' 및 기타 정교 한 전자 부품 과 같은 반도체 장치 의 생산 에 사용 된다. CONCEPT 2 속도 원자로 (CONCEPT 2 Speed Reactor) 는 오염을 최소화하면서 최고의 주기 시간 동안 가장 높은 Fab 속도를 가능하게 하는 독특한 디자인을 자랑합니다. 독립적 인 난방 및 증착 구역이있는 2 구역, 고온의 난방 챔버입니다. 증착 구역은 "기판 엘리베이터 (substrate elevator)" 로 알려진 2 개의 엘리베이터 중 하나에 기판을 보유하며, 이는 기판을 최대 850 ° C의 온도 범위로 상승시켜 원하는 금속 및 재료의 정확한 증착을 허용합니다. 어닐링 존 (Annealing zone) 에는 유도 용광로 기술의 도움으로 다양한 금속 및 기타 재료를 빠르게 회전하고 혼합하는 로터리 척 (rotary chuck) 이 포함되어 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor에는 "다중 시스템 인터페이스" 라는 전문 하드웨어 및 소프트웨어 플랫폼이 포함되어 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 온도, 가스 흐름, 압력, 난류, 기타 요소 등 다양한 매개변수를 제어, 모니터링 및 조정할 수 있습니다. 또한 다중 시스템 인터페이스 (multi-system interface) 를 사용하여 레시피 조정, 반응 프로세스 모니터링, 반응 상태에 대한 피드백 (feedback) 을 수행할 수 있습니다. CONCEPT 2 Speed Reactor는 고급 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소 외에도 헬륨, 아르곤, 질소, 수소, 진공 및 기타 특수 가스를 사용하여 챔버 내 확산 및 증착 과정을 최적화하는 특수 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 노벨 러스 컨셉 2 스피드 리액터 (NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor) 는 빠른 사이클 시간과 높은 Fab 속도를 달성하기 때문에 다양한 제작 요구에 이상적인 솔루션입니다. 더욱이, 원자로 는 "실리콘 웨이퍼 '와 성분 을 오염 시킬 입자 도 없이 깨끗 하게 작동 하도록 설계 되었다. 또한, 다른 유사 원자로 와 비교 해 볼 때, 원료 와 "에너지 '를 적게 이용 하여 동일 한 수준 의 제작 을 수행 하는 것 도 매우 효율적 이다.