판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed #9146623

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Reactor는 대용량 제조에서 반도체 장치 계층을 만드는 데 사용되는 고급 다용도 화학 증기 증착 (CVD) 도구입니다. 고급 MPU 및 고성능 트랜지스터 디자인을 포함하여 최대 350mm 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS의 CONCEPT 2 Speed Reactor는 유연한 멀티 스테이션 아키텍처를 갖추고 있어 처리량이 높고 DY당 비용이 저렴합니다. 원자로에는 이중 원자로, 이중 기판 처리 장비가 포함되어 있으며, 대형 300 및 350mm 웨이퍼의 전면 및 후면 처리가 동시에 가능합니다. 또한 처리 스테이션 간 빠른 전송을 가능하게하는 포괄적 인 웨이퍼 처리 메커니즘이 특징입니다. 원자로 는 고급 증착 과정 을 이용 하며, 수소 "실세스퀴옥산 '(HSQ), 폴리실리콘, 규산염 유리 등 여러 가지 물질 을 처리 할 수 있다. 전체 기판 전체에 걸쳐 최적의 온도 균일성 (temperity) 및 정확한 레이어 두께 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 이 플랫폼은 고압 저전력 (low-power) 모드를 사용하여 과도한 난방 속도의 바람직하지 않은 영향을 최소화하고 반복 가능한 증착 결과를 보장합니다. 또한 원자로 챔버에서 기판 처리 및 위치 지정을 위해 수직 정렬 자 및 재 정렬 자 (re-aligner) 를 사용합니다. 원자로에는 높은 수준의 진공을 달성하고 오랜 기간 동안 유지 할 수있는 진공 시스템 (vacuum system) 이 포함되어 있으며, 안정적이고 반복 가능한 CVD 프로세스가 보장됩니다. "펌프 '장치 에는 챔버 에서 입자 를 제거 하고 깨끗 한" 에치' 처리 를 하는 통합 "캡처 '기계 가 장착 되어 있다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 최고의 안정성과 생산 처리량을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 다양한 모니터링, 피드백 (feedback), 결함 보호 (fault protection) 기능을 통해 플랫폼을 운영 라인에 완벽하게 통합할 수 있습니다. 원자로에는 고급 정전기 척 (ESC) 이 추가로 장착되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 스테이지 동안 전압 값이 매우 낮은 정확한 웨이퍼 클램핑이 가능합니다. CONCEPT 2 Speed 는 사용자에게 유용한 데이터를 제공할 수 있는 데이터 로깅 툴을 갖추고 있습니다. 로깅 자산 기록은 산출량, 프로세스 기록, 레시피 개발, 결함 데이터 및 기타 주요 매개변수를 생성하여 산출량 (yield) 과 처리량 (throughput) 의 최적화를 지원합니다. 결론적으로 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed는 대용량, 저비용 및 반복 가능한 증착 처리를 위해 설계된 고급 CVD 원자로입니다. 종합적인 웨이퍼 (wafer) 처리 및 모니터링 시스템을 갖추고 있어 안정적인 다운스트림 (downstream) 처리와 높은 처리량을 제공합니다. 원자로는 깨끗한 에칭 공정을 제공하며, 실세스키오산 수소 (silsesquioxane) 에서 규산염 유리 (silicate glass) 까지 광범위한 물질을 처리 할 수 있습니다.