판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrink #9294359

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Shrink는 반도체 및 관련 제조 산업에 사용되는 고속, 고성능 PVD (Physical Vapor Deposition) 원자로의 한 유형입니다. 상호 연결, 디바이스 제작, 디바이스 보호 등에 사용되는 여러 필름을 배치할 수 있습니다. 컨셉트 2 (Concept 2) 원자로는 광학적이고 기계적으로 발전된 "플로팅 (floating)" 챔버 설계로 초강력 동적 챔버 부품을 활용하여 진동을 줄이고 처리량을 최대화합니다. Concept 2는 고급 PVD 필름 증착 장비를 사용하여 하나의 도구에서 알루미늄, 텅스텐 및 구리 필름을 증착 할 수 있습니다. 연산자는 증착율 (deposition rate), 목표 두께 (target thickness) 및 레이어 컴포지션 (layer composition) 을 설정하여 반복 가능하고 신뢰할 수있는 필름을 허용합니다. 또한, Concept 2는 산화물, 질화물, 금속 규산염 등 다양한 필름을 생성 할 수 있습니다. 영화 균일성을 향상시키기 위해 Concept 2는 고급 코일 커플 링 마그네트론 시스템을 사용합니다. 이 단위 는 두 개 의 "마그네트론 '을 사용 하는데, 하나 는" 스퍼터링 플라즈마' 를 만들고 다른 하나 는 "챔버 '의 전자 를 중화 시켜서 입자 생성 이 낮은 균일 한" 필름' 을 만든다. 또한, Concept 2는 고급 내부 프로세스 제어를 사용하여 레시피 튜닝 및 프로세스 최적화를 허용합니다. Concept 2 디자인은 우수한 기판 정렬을위한 적외선 레이저 랩핑 머신을 특징으로합니다. 이 도구는 설계 평면의 웨이퍼의 표면 타우 신 (towithin) 을 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 자산에는 고급 웨이퍼 (wafer) 케이터링 기능도 있으며, 한 번 실행하면 최대 10 개의 다른 필름을 쌓을 수 있습니다. 공정 매개변수 (process parameter) 는 증착되는 특정 필름에 따라 조정될 수 있으며, 그 결과 반복 가능한 두께와 컴포지션이 생성됩니다. 안전 기능 측면에서, NOVELLUS 컨셉 2 (NOVELLUS Concept 2) 는 제어 모델이 위험한 압력 구축을 발견했을 때 챔버 가스를 차단하는 스프레이 백 기능을 특징으로합니다. 또한, 장비에는 잠재적으로 유해한 입자의 안전한 방출 수준을 보장하기 위해 공격적인 스크러버 시스템이 있습니다. 또한, 프로세스 가스를 별도의 지점에서 격리하고 모니터링하여 유지 보수가 쉽습니다. 전반적으로 CONCEPT 2 Speed Shrink Reactor는 고급 PVD 도구이며, 뛰어난 균일성과 반복성으로 여러 필름을 증착 할 수 있습니다. 안전성이 뛰어난 고성능 필름 (film) 을 제작할 수 있는 반도체· 관련 제조업의 핵심 도구다.