판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel #172487

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel은 NOVELLUS의 Concept 2 Speed 원자로 범위에 새로 추가 된 것 중 하나입니다. 이 제품은 고급 반도체 제조 (Advanced Semiconductor Manufacturing) 부문을 대상으로 하며, 쉽고 비용 효율적인 웨이퍼 프로세스 업그레이드가 가능합니다. CONCEPT 2 Speed Sequel (CONCEPT 2 Speed Sequel) 은 기존의 단일 웨이퍼 도구 아키텍처보다 높은 처리율을 제공하며, 매우 빠른 웨이퍼 속도에서도 뛰어난 제어 및 반복 가능한 프로세스 성능을 제공합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel은 원래 Concept 2 Speed 도구의 기능을 기반으로하며 두 가지 수준의 프로세스 제어를 제공합니다. 여기에는 고해상도 레이어 이미징 (high resolution layer imaging), 실시간 챔버 관리, 다양한 고급 재료 프로세스에 대한 엄격한 프로세스 모니터링 등이 포함됩니다. 원자로는 PECVD (UV Photo-Assisted CVD) 공정 챔버 및 가스 전달 장비를 갖춘 Concept 2 Speed 아키텍처를 기반으로합니다. 웨이퍼 (wafer) 표면에 걸친 필름 두께 균일성을 정확하게 제어 할 수 있으며, 높은 웨이퍼 속도로 우수한 생산 수율을 제공합니다. CONCEPT 2 Speed Sequel의 독특한 디자인은 효율적인 가스 차폐 기술을 갖추고 있으며, 이 공정의 측면 벽 산화 및 플라즈마 결합을 방지하기 위해 탁월한 보호 기능을 제공합니다. 원자로는 또한 고급 컨트롤러 장치 (advanced controller unit) 를 갖추고 있으며, 최소한의 노력으로 복잡한 다단계 프로세스를 완료하도록 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 고급 제어 머신 (Advanced Control Machine) 은 사용자정의 매개변수로 미리 설정될 수 있으며, 공구는 뛰어난 정확도, 반복성 및 수율로 레시피를 실행할 수 있습니다. 더 많은 유연성을 제공하기 위해 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed Sequel에는 원자로 환경 및 웨이퍼 프로세스를 실시간으로 모니터링 할 수있는 현장 모니터링 및 분석 기능이 있습니다. 이렇게 하면 여러 웨이퍼에 걸쳐 일관된 프로세스를 보장하고 프로세스 변형을 방지할 수 있습니다. 결론적으로, CONCEPT 2 Speed Sequel은 고급 반도체 생산의 요구를 충족시키기 위해 설계된 효율적이고 안정적인 원자로입니다. 높은 수준의 유연성, 프로세스 제어 및 반복성 (repeatability), 향상된 처리율 (Throughput Rate), 뛰어난 수익률을 제공합니다.