판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM #9109574

NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM은 향상된 속도, 처리량 및 효율성을 제공하는 고급 다기능 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 코퍼 (Copper), 로듐 (Rhodium) 및 알루미늄 (Aluminum) 과 같은 고밀도 재료 응용 프로그램을 위해 설계되었으며 증착 조건을 정확하게 제어하기 위해 여러 기능이 포함되어 있습니다. 원자로는 이중 속도 고속 가스 분배기, 선형 스캔 단계, 조절 가능한 직접 액체 냉각 장치 (direct liquid cooling mechanism) 를 갖춘 독특한 캐리어 설계를 사용하여 우수한 온도 균일성을 보장합니다. 직접 액체 냉각 장치 (direct liquid cooling mechanism) 는 빠른 공정 냉각을 가능하게하며 기판의 열 손상을 방지합니다. CONCEPT 2 Speed DLCM은 또한 반 투과성 자기장 정지 층 (magnetic field stop layer) 을 가지고 있으며, 이는 산소 및 기타 가스의 강착 구역으로의 진입을 제한합니다. 이 기능을 사용하면 증착률과 균일성을 제어할 수 있습니다. Novello NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM은 또한 2 단계 마이크로 웨이브 플라즈마 방전 시스템을 갖추고 있으며, 이를 통해 이온화 및 증착 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 선형 스캔 (linear scan) 단계는 반응성 가스의 빠르고 정확한 스캔을 제공하며 가스 상 노이즈와 가스 혼합을 모두 줄입니다. CONCEPT 2 Speed DLCM은 사용하기 쉽고, 정확한 증착 제어를 위해 여러 함수를 사용하여 프로그래밍 할 수 있습니다. 사용자 인터페이스는 간편하고 직관적으로 설계되었으며, 터치 스크린 컨트롤 (touch-screen control) 과 대형 그래픽 LCD 디스플레이 (Graphical LCD Display) 를 통해 배치 매개변수를 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. 가스 흐름, 온도, 압력, 마이크로파 주파수 (microwave frequency) 를 포함한 공정 매개변수는 실시간으로 조정되어 증착 매개변수에 대한 높은 수준의 제어를 제공합니다. 마지막으로 NOVELLUS CONCEPT 2 Speed DLCM은 안전하고 일관된 운영을 위해 고급 안전 기능을 사용합니다. 예기치 않은 조건이 감지되면 프로세스 반응을 중지하기 위해 연동 회로로 설계되었습니다. 또한, 원자로는 고급 입자 모니터링 및 여과 시스템 (advanced particle monitoring and filtration system) 을 사용하여 증착 과정의 안전성과 품질을 향상시킵니다. 전반적으로 CONCEPT 2 Speed DLCM (CONCEPT 2 Speed DLCM) 은 속도와 정밀도가 높은 고밀도 재료를 증착할 수 있도록 설계된 고성능 증착 원자로입니다. 이 원자로는 공정 엔지니어, 연구 과학자, 학술 연구소에 이상적입니다. 이는 신뢰할 수있는 안전 기능을 갖춘 증착 파라미터 (deposition parameter) 를 잘 제어하기 때문입니다.