판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9250953

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel은 차세대 IC 제조 공정 단계를 가능하게하기 위해 개발 된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. NOVELLUS Corporation은 CONCEPT 2 Sequel을 통해 기존 CVD 기술 중 최고를 차지하고 향상된 기능과 결합하여 시장에서 가장 안정적이고 고급 원자로가되었습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel은 다양한 응용 프로그램을 충족하도록 매우 다양한 구성으로 설계되었습니다. 단일 웨이퍼 CVD 원자로로서, 병렬 및 병렬 플러스 (parallel-plus) 모드 모두에서 작동하여 최적의 처리량 또는 최적의 균일성을 가능하게 합니다. CONCEPT 2 Sequel의 물리적 설계 측면에서, 웨이퍼는 매우 균일 한 열 환경에서 웨이퍼를 안정화하기위한 강력한, 다중 영역 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 통해 고정됩니다. 원자로는 또한 여러 개의 용광로 구역, 고정밀 히터, 그리고 각 웨이퍼에 일관된 증착을 보장하는 독특한 고압 가스 전달 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 필름 스트레스를 최소화하기위한 증착 방패 (deposition shield) 뿐만 아니라 오염 발생을 방지하기위한 현장 청소 메커니즘이 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel은 기계 설계 외에도 CVD 프로세스 생산성을 극대화하는 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어의 기능은 CVD 프로세스 제어, 레시피 개발, 데이터 수집, 오류 감지 및 알림, 고급 진단 테스트 등입니다. 특히 CONCEPT 2 Sequel 용으로 설계된 특허 출원 중인 NOVELLUS Control 패키지는 업계에서 가장 강력하고 사용자 친화적 인 소프트웨어입니다. 전반적으로 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel은 가장 까다로운 응용 프로그램에 가장 강력하고 안정적인 CVD 원자로입니다. 고급 기계적 (mechanical) 및 소프트웨어 (software) 기능과 결합된 다용성, 광범위한 프로세스 기능을 통해 최고 수준의 품질을 제공하는 데 이상적인 솔루션이 됩니다. 이 CVD 원자로 (CVD Reactor) 는 엄격한 사양과 출시 기간 제약조건을 손쉽게 처리할 수 있어, 고객이 최고 수준의 신뢰성을 가진 반도체 부품을 제조할 수 있습니다.