판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel #9247399

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel
ID: 9247399
System 2006 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel은 높은 증착 속도 프로세스와 여러 프로세스 응용 프로그램을 수행 할 수있는 다재다능한 원자로입니다. 첨단 도가니 기술 (crucible technology) 과 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 을 사용하여 광범위한 재료를 처리할 수 있도록 설계되었습니다. CONCEPT 2 Sequel Reactor는 멀티 챔버 (multi-chamber) 설계를 통해 더 많은 챔버를 한 번에 처리하여 프로세스 시간을 줄일 수 있습니다. 최대 12 개의 웨이퍼를 동시에 처리하여 처리량을 늘릴 수 있습니다. 또한, 다양한 공정 챔버 (process chamber) 크기를 가지며, 운영자는 다른 웨이퍼 크기와 기판 구성을 원자로 수용 할 수 있습니다. 이것은 다양한 기판을 처리하는 데 관심이있는 사람들에게 유용합니다. 이 원자로에는 저압 CVD 시스템이 있으며, 가스 혼합 기술을 사용하여 웨이퍼 사이에 균일 한 가스 흐름을 만듭니다. 이것은 증착 된 재료의 더 나은 필름 균일 성과 반복성을 보장하는 데 도움이됩니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel은 또한 가열 된 받침대 및 대류와 같은 고급 열 관리 기술을 사용하여 증착 중 웨이퍼 전체에 균일 한 온도 분포를 제공합니다. 이를 통해 열 구배 문제가 적을수록 증착률이 높아집니다. 콘셉트 2 (CONCEPT 2) 속도 원자로 (Sequel reactor) 에는 공정 흐름 모니터링 시스템이 내장되어 있어, 운영자가 증착 과정을 더 잘 이해하고 실시간으로 조정할 수 있습니다. 이것은 비용 효율성과 정확한 프로세스 제어를 위해 중요합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel (NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel) 은 다양한 프로세스와 재료를 수용하는 데 사용할 수있는 잘 설계되고, 안정적이며, 사용자 친화적 인 원자로입니다. 높은 증착율 (Deposition Rate) 프로세스와 반복 가능한 필름을 제공하여 효율적인 프로세스와 안정적인 결과를 찾는 엔지니어에게 이상적입니다.
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