판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9362147

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 집적 회로 제품 생산을 위해 특별히 설계된 혁신적인 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. CONCEPT 2 Sequel Express는 반도체 제조 기술의 최신 발전을 활용하여 초소형 기능 크기 웨이퍼 처리를 위한 비용 효율적인 고성능 CVD 플랫폼을 제공합니다 (영문). NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 2 분 이내에 최대 10 개의 웨이퍼를 신속하게 교환 할 수있는 큰 "X-Y" 모션 범위를 가진 이동식 기판 홀더를 갖추고 있습니다. 이것은 기판 처리 시간을 줄이고, 휘발성이 높은 제품의 무결성을 유지합니다. 기판 홀더는 기판 별 정렬을 가능하게하여 완벽한 필름 균일성 및 접착력을 보장하는 이동식 삽입물 (removable insert) 을 특징으로합니다. 원자로는 또한 지능형 소프트웨어 (Intelligent Software) 를 통합하여 최적화된 처리 조건을 빠르고 쉽게 설정 할 수 있습니다. CONCEPT 2 Sequel Express에는 가스 비율 및 가스 흐름에 대한 정확한 제어를 제공하기 위해 강력한 멀티 채널 가스 분사 밸브 (Array of Strong Multi-Channel Gas Injection Valv) 를 사용하는 고출력 Process Module이 포함되어 있습니다. 또한 Process Module에는 Avotec® NOX® Computer-Controlled Process 시퀀서가 포함되어 있어 가스 흐름을 관리하고 원하지 않는 잔기가 감지되면 자동으로 반작용을 주입합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 고품질 프로세스를 보장하도록 설계된 PHTS (Pulsed Heat Tower Equipment) 및 현장 청소 시스템을 갖추고 있습니다. PHTS (PHTS) 는 정확도가 높은 다양한 온도를 제공하도록 설계되어 처리 성능이 향상되었습니다. 이 시스템에는 또한 폴리 실리콘 필름 (polysilicon film) 의 최적의 증착을 위해 웨이퍼 온도를 정확하게 제어 할 수있는 온 모듈 냉각 장치 (on-module coolant unit) 가 포함되어 있습니다. CONCEPT 2 Sequel Express는 또한 인원과 환경을 보호하기 위해 설계된 여러 가지 향상된 안전 기능을 제공합니다. 이 기계에는 특허를받은 EPD (Low-Pressure Explosive Potential Device) 가 포함되어 있으며, 이는 유해 가스 구축으로 인해 챔버에서 폭발의 위험을 효과적으로 제거합니다. 고장 발생 시 인력을 보호하기 위해 완전 자동화된 긴급 종료 (Emergency Shutdown) 도구도 포함되어 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express 원자로는 강력한 CVD 자산으로, 대량의 초소형 기능 크기 웨이퍼를 생산하기 위해 매우 안정적이고 비용 효율적인 증착 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 모델의 고급 기능과 지능형 소프트웨어 (Intelligent Software) 를 통해 성능과 안전성이 향상되었으며, 제조 작업의 생산성을 극대화할 수 있습니다.