판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259415

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 반도체 산업을 위해 설계된 원자로입니다. 저온 폴리 실리콘, 질화 실리콘, 산화 실리콘, 텅스텐, 알루미늄/구리, 유전체 및 기타 특수 공정을 포함한 CVD (thermal chemical vapor deposition) 공정이 가능한 자체 함유 된 소형 단일 웨이퍼 공정 도구입니다. CONCEPT 2 Sequel Express (CONCEPT 2 Sequel Express) 는 제어 환경에서 최적의 프로세스 기능을 제공하도록 설계되었으며, 높은 운영 처리량을 제공하는 안정적인 운영 및 균일성을 제공합니다. 또한 빠른 주기 시간에 최적화되어 분당 최대 8 개의 웨이퍼 직경을 실행할 수 있습니다. 이 도구는 상대적으로 낮은 총 챔버 압력 (일반적으로 약 2 Torr) 으로 작동하며 일회용 올 세라믹 기판 캐리어로 설계되어 일반적으로 전통적인 쿼츠 서셉터 캐리어와 함께 존재하는 처리 및 청소 문제를 제거합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 프런트엔드 및 백엔드 모듈을 쉽게 구성할 수 있는 유연성을 제공합니다. 하드웨어 측면에서 CONCEPT 2 Sequel Express는 정전기 척 (electrostatic chuck) 을 사용하여 균일성을 향상시키고 웨이퍼 온도를 정확하게 제어합니다. 이것은 온도, 위치, 진공 및 가공 가스를위한 제어 장비로 보완됩니다. 추가 구성 요소에는 펌핑 시스템, 공정 챔버, 공정 가스 시스템, 공정 선박, 공정 열 소스, 가열 배기 및 로드 잠금이 포함됩니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express CVD 챔버의 고급 설계는 프로세스 결과 최적화, 오염 감소 및 처리량 극대화를 위해 설계되었습니다. 또한 프로세스 가스 누출을위한 활성 탐지 장치 (active detection unit for process gas leaks) 및 양극을위한 이중 절연 패키지 (dual-insulation package) 를 포함하여 프로세스 안전을 향상시키는 기능으로 설계되었습니다. CONCEPT 2 Sequel Express는 뛰어난 균일성과 일관성, 그리고 안정적이고 반복 가능한 처리를 제공하는 고도로 구성 가능한 기계입니다. 단순한 설계로 운영 및 유지 보수가 용이한 반면, 특정 작업에 대한 모듈 (module) 을 구성하는 기능은 다양한 애플리케이션에 유연성을 제공합니다. 이러한 모든 기능을 통해 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 반도체 산업에서 CVD 처리에 이상적인 도구가되었습니다.