판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9259413

NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로로, 반도체 산업의 기판에 특수 박막 재료 층을 증착하도록 설계되었습니다. 장비는 80 ~ 160 nm/min의 증착률이 있으며, 웨이퍼 크기는 300mm 이상입니다. 금속 간 장벽, 매우 얇은 상호 연결, 구리 및 텅스텐 금속 화를위한 라이너 응용 프로그램 (예: 금속 간 장벽) 에 사용됩니다. 원자로는 최첨단 SmartFlow (TM) 기술을 사용하여 증착율을 정확하게 제어하고 균일성을 처리합니다. 스마트 흐름 (SmartFlow) 모듈은 전체 웨이퍼 서피스에 걸쳐 높은 수준의 균일성을 보장하며, 배치 두께를 조정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 통합 냉각 장치 (Integrated Cooling Unit) 로 설계되어 처리 중 기판의 정밀한 온도 최적화 및 안정화를 지원합니다. CONCEPT 2 Sequel Express는 이중 프로그래밍 가능한 가스 밸브를 갖추고 있으며, 흐름 양과 조성을 사용자 정의하는 다양한 옵션을 제공합니다. 이를 통해 여러 복합 레이어로 구성된 복잡한 재료 레이어를 형성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 저압 터보 펌프 (low-pressure turbo pump) 와 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 를 장착하여 진공 무결성을 유지함으로써 공정의 조작을 허용합니다. 이 도구는 고급 멀티플렉싱 (multiplexing) 기능으로 설계되어 여러 기판을 동시에 처리할 수 있습니다. 이 기술은 처리량을 높이고 여러 웨이퍼의 배치 작업을 허용합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 신뢰할 수있는 장비로, 반도체 산업에 매우 효율적이고 일관된 증착 프로세스를 제공합니다. 고급 (Advanced) 기능은 사용자에게 높은 수준의 공정 균일성을 갖춘 고품질 재료 레이어 (Material Layer) 를 만드는 데 필요한 도구를 제공합니다.