판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #9256798
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ID: 9256798
웨이퍼 크기: 8"
System, 8"
Process type: PEOX
(2) Chambers
LCD Monitor, 12.1"
Signal tower type: Front Mount
DLCM:
P166/64M Module controller
Cassette transfer: Shuttle type
TM Robot: Magnatran 7 003-1600-25
Indexer robot: Indexer type II
Motor type: Belt
Animatics: CDP2407-2
Arc bar: 26 Slots
Cassette mapping: Auto mapping
MKS 750B11TCE2GK 10 Torr Manometer
GRANVILLE PHILLIPS 275 Mini convectron
TYLAN ACX3200 Throttle valve controller
Slit valve type: Loadlock VAT/CH SMC
IOC: 27-10157-00 Ver4.1
CVD1:
ADVANCED ENERGY MN3150274-004 B RF Match network
View port left/Right
RF Distribution
Gas distribution
Mix bowl type: Not heated
(6) Shower heads
Heater block
Process chamber ring
MESC Flange
MKS 627A13TBC Manometer, 1000 Torr
MKS 627A11TBC Manometer, 10 Torr
UE PV48W-14 Switch, vacuum, atmosphere
UE E48W-H14 Switch, vacuum, 15 Torr
End point detector VM3200 Integrated dual wavelength EPD
(3) IOC: 27-10157-00 Ver 4.1
Controller, throttle valve
Interlock PCB, CVD 02-123072-00 Rev A
P166/64M Module controller
Water flow switch
Gate valve, Hi vac, 4"
Throttle valve
Spindle mechanism Ferrofluidic bellows type
Process chamber 4-line type: Vertical
Process chamber exhaust type: Vertical
EUROTHERM Temperature controller
Hastings gauge
ADVANCED ENERGY PDX 1400, P/N 27-028379-00 F/R C RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 5500, P/N 27-115617-00 F/R A Generator rack
CVD2:
ADVANCED ENERGY MN3150274-004 B RF Match network
View port left/Right
RF Distribution
Gas distribution
Mixbowl type: Temperature setting
(6) Shower heads
Heater block
Process chamber ring
MESC Flange
MKS 627A13TBC Manometer, 1000 Torr
MKS 627A11TBC Manometer, 10 Torr
UE PV48W-14 Switch, vacuum, atmosphere
UE E48W-H14 Switch, vacuum, 15 Torr
End point detector VM3200 Integrated dual wavelength EPD
(3) IOC: 27-10157-00 Ver 4.1
Controller, throttle valve
Interlock PCB, CVD 02-123072-00 Rev A
P166/64M Module controller
Water flow switch
Gate valve, Hi vac, 4"
Throttle valve
Spindle mechanism Ferrofluidic bellows type
Process chamber 4-line type: Vertical
Process chamber exhaust type: Vertical
EUROTHERM Temperature controller
Hastings gauge
ADVANCED ENERGY PDX 1400, P/N 27-028379-00 F/R C RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 5500, P/N 27-115617-00 F/R A Generator rack
CVD1 / CVD2:
MFC (AERA):
SiH4 / FC-7800CD, 1 SLM
N2 / FC-7800CD, 5 SLM
He / FC-7800CD, 10 SLM
NH3 / FC-7800CD, 10 SLM
O2 / FC-7800CD, 20 SLM
C2F6 / FC-7800CD, 5 SLM
N2O / FC-7800CD, 20 SLM
N2 / FC-7800CD, 10 SLM
SSD:
MSSD 01-132945-00 with UPS
Power:
208 VAC, 3 Phase, 5 wires, 50 Hz, 1000 kV
208 VAC (CVCF), Single phase, UPS 50 Hz, 20 A.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 유전체, 장벽 및 금속 필름의 증착을위한 최적의 프로세스 유연성과 최대 가동 시간을 제공하도록 설계된 고급 증착 원자로입니다. 고효율 설계를 통해 상당히 높은 필름 증착률로 더 빠른 웨이퍼 처리량을 제공합니다. 원자로는 다양한 관형 원자로를 사용하며, 특히 비용 효율적인 프로세스 유연성과 탁월한 제어를 위해 설계되었습니다. 고급 기능으로는 고속 펄스 (High-Speed Pulsing), 사이클 시간 감소, 웨이퍼 전체의 필름 증착 및 균일 성을 정확하게 관리하는 기능 등이 있습니다. 원자로에는 관 처리 챔버가 있으며, 이는 개별적으로 프로그래밍 가능한 4 개의 플럭스 영역으로 하나의 연속 튜브로 나뉩니다. 이렇게 하면 여러 개의 필름을 단일 사이클 (single cycle) 에 배치하거나 다른 플럭스 영역에서 다른 레이어를 처리할 수 있습니다. 방은 진공에서 압력에 이르는 압력, 실온에서 500 ° C까지의 온도를 지원할 수 있습니다. 또한, 수평 및 수직 방향 모두에서 웨이퍼 처리를 허용합니다. 원자로에는 증착률, 계층 균일성, 증착률 프로파일 (deposition rate profile) 을 관리하기 위해 정확한 프로세스 관리를 제공하는 고급 폐쇄 루프 (closed-loop) 공정 제어 장비가 있습니다. 여기에는 피드백 (feedback) 및 피드포워드 (feedforward) 제어 (control) 와 같은 알고리즘이 포함되어 있습니다. 또한 프로세스를 원격 모니터링하고 제어할 수 있습니다. CONCEPT 2 Sequel Express는 TCO (저비용) 및 고급 안전 기능을 갖도록 설계되었습니다. 또한 잠재적인 안전 위험을 최소화하면서 생산성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 자체 보호 장치 (Self Protection Unit) 와 오류 방지 (Error Prevention) 및 제한 (Limiting) 기능이 장착되어 있어 항상 시스템의 안전한 작동을 보장합니다. 마지막으로, 이 원자로는 짧은 주기 동안 비용 효율적인 필름 증착 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 공구 (Tool Set) 를 자동으로 변경할 수 있어 다양한 재료를 지원할 수 있으며, 구성이 가능하고 다양한 공구가 됩니다. 고급 제어 및 안전 기능, 높은 웨이퍼 처리량, 비용 효율성을 갖춘 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express는 다양한 증착 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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