판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express #293743517
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ID: 293743517
CVD System, 8"
Wafer type: Notch / flat
Process: SION
Mag7 Robot vacuum
Single chamber
Light towers: RYG, 3-Color
Main frame: DLCM Express, 8"
Signal tower: Cool station
Dual load lock cassette module
No integrated SMIF ASYST LPI2200
No front-end option
Process chamber A:
Process type: SION
High frequency RF Generator: RFG5500
Low frequency RF Generator: PDX1400
Gate and throttle valve
End point detector
Manometers: 10 / 1000 TORR MKS
Ferrofluidic spindle
Clean process: IN-SITU
Gas box:
Gas / MFC Size (SCCM)
C2F6 / 5000
PH3 / 1000
O2 / 5000
SIH4 / 1000
NH3 / 3000
N2O / 10000
N2 / 10000
N2 / 5000
Heater
Shower head
Gas box exhaust
2002 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express 원자로는 연구, 개발 및 파일럿 제조에 사용하도록 설계된 다용도 화학 가공 장비입니다. 이 시스템은 고성능 (HPI) 및 생산성을 제공하므로, 연구원들이 최소 다운타임과 낮은 TCO (총소유비용) 로 새로운 프로세스 화학을 탐색할 수 있습니다. CONCEPT 2 Sequel Express 원자로는 유체 세포를 사용하여 한 단위에서 최대 24 개의 다른 공정 작업을 제공하는 멀티 챔버 장치입니다. 원자로에는 1 셀에서 4 셀 또는 1 글라스 구성으로 원자로를 변환 할 수있는 유연성 옵션이 있습니다. 또한 기계는 다양한 시약을 사용할 수 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reactor에는 "터치 스크린 제어 (touchscreen control)" 가 장착되어 있어 사용자가 반응 매개변수와 스케줄링을 제어하고 통계 추적 및 경보 모니터링을 수행 할 수 있습니다. 이 도구에는 반응 조건 및 격리를 최적화하는 통합 진공 자산도 있습니다. CONCEPT 2 Sequel Express Reactors는 다양한 연구 및 프로세스 응용 프로그램에서 사용하도록 설계되었습니다. 여기에는 유기 합성 반응, 생체 모방 반응, 나노 물질 생산, 공정 개발 최적화 및 프로세스 스케일 업 최적화가 포함될 수 있습니다. 프로세스 제어 및 데이터 수집의 자동화는 NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reactor를 제약 및 미세 화학 물질 제조에 이상적인 선택으로 만듭니다. 원자로 (reactor) 는 온도, 압력 및 기타 프로세스 매개변수를 제어하고 반응 운동학에 대한 실시간 피드백을 제공 할 수 있습니다. 이 모델은 중간 테스트 (intermediate testing) 또는 보정 (calibration) 과 같은 추가 단계를 제거하고 정확하고 예측 가능한 결과를 제공함으로써 프로세스 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다. 또한, 원자로는 안전 요구 사항을 충족시켜 추가 안전 (Safety) 기능이 필요하지 않도록 설계되었습니다. 전반적으로 CONCEPT 2 Sequel Express Reactor는 고가용성, 다용도 및 비용 효율적인 원자로 옵션입니다. 이 장비는 고급 프로세스 제어 (process control) 와 데이터 수집 (data collection) 을 통합하여 연구 및 제조 프로세스를 능률화하고 최적화합니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Sequel Express Reactor는 프로세스 최적화 및 제조 요구를 위해 강력하고 안정적인 도구를 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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