판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #9096020

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed는 NOVELLUS Systems, Inc.가 개발 한 다양한 산업 반도체 제조 요구 사항을 충족하는 고성능 가스 구동 원자로입니다. 원자로는 하나의 연속 시스템에서 대용량 웨이퍼 제품을 처리하고 2 개의 작동 속도를 제공하도록 설계되었습니다. 이중 속도 (Dual Speed) 버전에는 장기 저압 프로세스와 짧은 기간 고압 프로세스를 모두 수행 할 수있는 2 개의 챔버 세트가 포함되어 있습니다. 2 단 설정은 웨이퍼 처리의 처리량과 유연성을 극대화합니다. 이 제품은 고효율 가스 유동 공정 (gas-fluxed process) 기술을 활용하며, 가스 부하가 낮아 챔버 압력이 매우 낮습니다. 폐쇄 루프 가스 시스템은 프로세스 관련 가스 소비 및 운영 비용을 줄이기 위해 설계되었습니다. 원자로에는 고급 극저온 시스템 (cryogenic system) 이 장착되어 웨이퍼 온도에 대한 고정밀 제어를 유지합니다. 또한 이중 속도 (Dual Speed) 에는 원자로 환경을 최적화하고 정밀한 프로세스 제어를 보장하는 통합 흐름 제어가 포함되어 있습니다. 원자로의 디자인은 모듈 식 아키텍처를 기반으로합니다. 최대 챔버 크기는 22 인치 x 14 인치이며, 총 8 개의 챔버가 있으며, 최소한의 공간을 사용하면서 효율적인 웨이퍼 처리가 가능합니다. 각 챔버는 제조 용량 증가를 위해 최대 16 개의 4 인치 웨이퍼 또는 8 개의 6 인치 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 각 챔버에는 전용 온도 조절 (temperature control) 과 최적의 프로세스 제어를 위해 정확한 가스 전달이 장착되어 있습니다. CONCEPT 2 Dual Speed Reactor는 원활한 웨이퍼 처리를 위해 통합 로봇 공학도 갖추고 있습니다. "로봇 '암 은 직관적 인 사용자 인터페이스 로" 프로그램' 되어 있어서 조작 이 쉽고 빠른 "웨이퍼 '전송 시간 이 가능 하다. 로봇 암은 중앙 집중식 저장 영역을 특징으로하며, 사이클당 최대 48 개의 웨이퍼-를 동시에 처리 할 수 있습니다. 전반적으로 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed Reactor는 산업 반도체 제조 요구 사항을 충족하도록 설계된 강력한 고급 가스 기반 시스템입니다. 2 단 작동, 효율적인 공간 관리, 정교한 온도 조절, 정확한 가스 전달, 직관적인 사용자 인터페이스 및 통합 로봇 공학으로, 이 원자로는 엄격한 웨이퍼 처리 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.