판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed #293777790

NOVELLUS CONCEPT 2 듀얼 스피드 (Dual Speed) 는 전자 장치 제조에 사용되는 다양한 재료를 효율적으로 생산하도록 설계된 고급 화학 증기 증착 원자로입니다. 새로운 듀얼 스피드 장비를 갖추고 있으며, 매우 높은 수준의 균일성을 유지하면서 분당 최대 1500 개의 옹스트롬 (angstrom) 까지 증착 할 수 있습니다. 그것 은 "박막 '과 여러 가지 금속, 합금, 반도체, 절연체 및 고급 산화물 의" 코우팅' 을 만드는 데 사용 될 수 있다. 원자로는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리하기위한 큰 단일 챔버가 있습니다. 6 가스 소스 기능과 가변 소스 유량을 갖춘 독점적 인 저압, 저질량 흐름, 화학 증기 분포 시스템 (chemical vapor distribution system) 을 사용하여 재료 및 증착 조건과 관련하여 유연성을 제공합니다. 원자로는 또한 매우 빠른 속도로 매우 얇은 고품질 재료 필름을 증착 할 수있는 PLA (Pulsed Laser Ablation) CVD 프로세스를 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치는 기존의 가스 반응 프로세스와 함께 사용될 수 있으며, 많은 PECVD 및 DCAP 프로세스와 호환되며, 생산 될 수있는 필름 유형의 유연성을 제공합니다. CONCEPT 2 Dual Speed Reactor에는 최대 6 개의 웨이퍼 및 최대 6 개의 다른 레시피를 처리 할 수있는 통합 웨이퍼 처리 기계가 포함되어 있습니다. 고급 (Advanced) 프로그래밍을 통해 유연성이 향상되고 다양한 프로세스 매개변수 (Process Parameter) 를 설정하고 처리량을 높일 수 있습니다. 또한 비상 셧오프 (Emergency Shoff) 및 방출 모니터링 자산을 포함하는 고급 안전 도구가 있습니다. NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Speed는 최첨단 생산 프로세스를 위해 설계된 최첨단 원자로입니다. 고성능 (HPT), 고급 (Advanced) 안전 기능을 통해 신뢰할 수 있는 필름 및 코팅 제품을 만들려는 모든 실험실 또는 프로덕션 시설에 이상적인 옵션입니다.