판매용 중고 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9314381

ID: 9314381
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
CVD System, 8" Mainframe Gas box: Standard with dual divert Robot: Express dual blade Cool down: 3 Slots Endpoint: Dual wavelength endpoint Sequel chamber: Sequel express TEOS Sigma 6 TEOS Cabinet (2) Speed chambers PFEIFFER 1600L Turbo 2000 vintage.
NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel (C2DSS라고도 함) 은 반도체 처리를 위해 설계된 원자로입니다. 독자적인 듀얼 스피드 아키텍처를 활용하여 탁월한 프로세스 제어, 특히 까다로운 재료를 제공합니다. C2DSS는 고효율, 다중 구역, 수치 제어 화학 반응 장비로, 정확한 온도 조절, 공정 제어 및 확장성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 모든 반응 매개변수에 대한 고급 벡터 제어 모니터링을 제공합니다. C2DSS에는 듀얼 스피드 아키텍처 (Dual Speed Architecture) 가 있어 운영자가 애플리케이션에 따라 다른 두 프로세스 속도 (Process Speed) 간에 변경할 수 있습니다. 이렇게 하면 프로세스 제어를 적용하지 않고 처리량을 높일 수 있습니다. 이렇게 하면 복잡한 물리적 피쳐와 재료 특성을 정확하게 제어해야 하는 응용 프로그램에 도움이 됩니다. 또한 온도 모니터링 및 제어, 자동 압력 조정, 에너지 보존을위한 동적 전력 제어 (Dynamic Power Control) 등이 있습니다. C2DSS는 광범위한 증착 공정을 위해 설계되었으며, 실리콘, 실리콘, 다층 재료 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 정교한 설계로 뛰어난 균일성 및 폐쇄 루프 프로세스 제어가 가능합니다. 또한, 이 기계에는 프로세스 연동, 자동 종료, 진동 모니터 등 안전 기능이 내장되어 있습니다. C2DSS의 고급 온도 제어는 최적의 균일성 (homogeneity) 과 균일성 (unifority) 을 유지하면서 최대 1000 'C의 매우 높은 온도에 도달 할 수 있습니다. 이를 통해 가스 상 에칭, 드라이 에칭 및 CVD 에피 택시와 같은 열 공정이 가능합니다. 이 도구는 또한 작동 중 최대 반응 안정성 및 안전을 제공하는 고급 가스 재순환 자산 (advanced gas recirculation asset) 을 갖추고 있습니다. C2DSS 는 작동이 용이하며, 애플리케이션 요구 사항에 따라 신속하게 재구성할 수 있습니다. 또한 다양한 액세서리가 제공되며 다양한 CPC (computer-aided process control) 소프트웨어 패키지와 호환됩니다. 이 모델은 다용도이며 기술 개발, 프로세스 최적화, 프로세스 통합, 운영 등에 사용할 수 있습니다. 전반적으로 C2DSS (Concept 2 Dual Speed Sequel) 는 반도체 처리를 위해 특별히 설계된 강력하고 다용도 원자로입니다. 이 제품은 듀얼 스피드 아키텍처 (Dual Speed Architecture), 고급 온도 조절 (Advanced Temperature Control) 및 다양한 재료를 효율적으로 처리하므로 다양한 어플리케이션에 적합한 안정적이고 정확한 솔루션입니다.
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