판매용 중고 NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9237572

NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel은 다양한 제품에서 고품질 코팅을 생산하도록 설계된 고급 PVD (Physical Vapor Deposition) 원자로입니다. 이 원자로에는 고에너지 이온 (ion) 을 생성하는 이중 자기 감금 호가 장착되어 증착층의 빠른 경사를 가능하게합니다. 또한 2 단 증착이 특징입니다. 즉, 높은 증착률과 낮은 증착율 사이에서 빠르게 전환 할 수 있습니다. 이 유연하고 에너지 효율이 높은 원자로는 의료· 광학· 자동차 부품· 반도체 등 다양한 업종에서 코팅 (coat) 할 수 있다. Concept 2 Dual Speed Sequel PVD 원자로는 다양한 기판을 수용 할 수있는 챔버와 전원 공급 장치를 포함하는 컨트롤러 (컨트롤러) 로 구성됩니다. 약실 은 "플라즈마 '를 적절 히 감금 하기 위하여 내부 에" 가스' 항 으로 늘어서 있다. 한 번에 여러 기판을 수용 할 수 있으므로 생산률이 높습니다. 충전식 cryo 펌프의 2 단계 사용으로 인해 진공 작동이 가능합니다. 통합 저항 히터는 필요한 경우 기판 온도를 더 높일 수 있습니다. NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel PVD 원자로의 중심에는 아크 챔버가 있습니다. 이중 벽 스테인리스 스틸 (stainless steel) 구조로 구성되며, 아크 챔버에는 각각 2 개의 아크 전극이 장착되어 있으며, 각각 여러 개의 양극이 있습니다. 또한 이온 소스가 장착되어 있습니다. 아크 챔버 (arc chamber) 는 비활성 가스로 다시 채워져 있으며, 빠른 경사와 정확한 증착 제어가 가능합니다. Concept 2 Dual Speed Sequel PVD 원자로의 컨트롤러는 아크 챔버에 연결되어 있으며 2 개의 아크 전극마다 별도의 전원 공급 장치가 있습니다. 수동으로 또는 컴퓨터를 통해 제어 할 수도 있습니다. 여기에는 증착 과정 (예: 기판 유형에 따라 매개변수 준비, 원하는 코팅 특성) 을 최적으로 제어할 수있는 소프트웨어가 포함됩니다. NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel PVD 원자로는 다양한 표준을 준수하고 내구성이 뛰어난 고품질 코팅을 생산하는 고급 PVD 시스템입니다. 이 원자로는 사용자 친화적 인 인터페이스와 유연한 증착 기능 덕분에 코팅 (coating) 과 정밀한 제어가 필요한 다양한 산업용 어플리케이션에 적합합니다.