판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel #9242195

NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel
ID: 9242195
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2010
CVD System, 8" 2010 vintage.
NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Reactor는 NOVELLUS Concept 2 원자로에서 가장 정교한 원자로입니다. 배치 형 원자로입니다. 즉, 여러 개의 피드 스탁을 동시에 처리 할 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 메뉴 기반 인터페이스를 통해 빠른 프로세스 변경을 허용하며, 분리 된 프로세스 흐름으로 인한 작동 안전성 (Operator Safety) 이 향상되었습니다. 이중 속편 (Dual Sequel) 원자로에는 2 개의 주요 챔버가 있으며, 둘 다 병렬로 실행되며 서로 다른 피드 스톡 배치를 처리하는 데 독립적으로 사용할 수 있습니다. 이 원자로는 또한 NOVELLUS 독점 Hastelloy 및 HP 합금 구성의 사용과 3 중 밀봉 챔버 및 재킷 디자인으로 인해 우수한 부식 및 침식 내성이 특징입니다. 원자로에는 피드 스톡 (feedstock), 촉매 (catalyst) 및 피드 스톡 (feedstock) 수정을 위해 구성 요소를 도입하기위한 4 개의 공정 포트와 원자로 내에 포함 된 물질 분석을위한 샘플링 포트가 장착되어 있습니다. 이 항구는 안전성 향상을 위해 무거운 스테인레스 스틸 하우징 (stainless steel housing) 으로 둘러싸여 있으며 가압 또는 진공 서비스 (pressurized service) 로 운영되도록 설계되었습니다. 급지대는 원자로를 통해 흐르며, 필요에 따라 반작용, 가열, 냉각되는 반응 부분을 통과한다. NOVELLUS는 피드 스톡 및 요구 사항 유형에 따라 연속 또는 반 연속 프로세스 제어를 사용합니다. 원자로에는 열 조절을 극대화하기 위해 난방 (heating) 과 냉각 (cooling) 단계에 위치한 열 교환기가 장착되어 있습니다. Dual Sequel 원자로에는 리보일러가있는 스트리퍼 섹션도 있습니다. 리 보일러 (Reboiler) 는 여러 반응 생성물의 효율적인 수렴과 방전 (Discharge Port) 이전의 비작용 급유소 분리를 가능하게한다. Dual Sequel Reactor의 다른 기능으로는 압력, 온도, 유량 (flow rate) 과 같은 주요 프로세스 변수를 지속적으로 모니터링하기위한 계측 패키지가 있습니다. CONCEPT 2 Dual Sequel Reactor는 뛰어난 원자로 역학, 공정 유연성, 제어 능력, 운영자 안전, 높은 수준의 제품 품질 및 일관성을 제공하는 최첨단 배치 원자로입니다. 또한, 원자로는 전통적인 배치 공정에서 쉽게 사용할 수없는 새로운 화합물의 생산을 가능하게한다.
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