판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9248936

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 원자로는 기판에 매우 얇은 필름을 퇴적시키는 데 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 도구입니다. 자동 적재 장비, 상하 가스 전달, 오존 기반 청소 시스템, 고급 3 차원 원자로 및 고정밀 온도 제어 장치가 장착되어 있습니다. 자동 로드 락 머신 (automated loadlock machine) 은 챔버에 기판을 적재 및 언로드하여 프로세스를 크게 단순화하고 정확도를 높입니다. "상하 가스 전달 (top and bottom gas delivery)" 은 정확한 분배 제어를 허용하면서 높은 증착률을 허용하는 쇼어 헤드, 이중 쇼어 헤드 및 벽 인젝터로 구성된 가스 전달 도구를 말합니다. 고급 3 차원 원자로는 더 높은 공정 균일성과 개선 된 필름 증착률을 위해 특별히 설계되었습니다. 이 자산은 기판에 필름을 입금하는 데 사용되는 다른 많은 전통적인 웨이퍼 오븐 (wafer ovens) 을 대체합니다. 또한 정밀 온도 조절을 제공하여 필름을 정확하고 균일하게 증착 할 수 있습니다. 오존 기반 청소 모델은 잔류물이없는 증착을위한 프리미엄 최대 청결을 제공합니다. 산화 과정은 증착 전에 챔버 벽 (chamber wall) 과 표면에서 입자와 유기물을 제거하여 필름 품질을 향상시킵니다. 고정밀 온도 조절 장비는 극도로 정확한 온도 조절을 가능하게하여 필름 (film) 을 정확하고 균일하게 증착시킬 수 있습니다. 또한 증착 시간을 줄이고 기판 품질을 향상시킬 수있는 기능을 제공합니다. 전반적으로 CONCEPT 2 Altus 원자로는 필름 품질을 향상시키고, 증착 시간을 줄이고, 공정 정확도를 높이도록 특별히 설계된 고급 기능을 갖춘 강력한 CVD 도구입니다. 적재 장치, 가스 전달 장치, 고급 3 차원 원자로 및 고정밀 온도 조절을 통해 알투스 (Altus) 원자로는 다양한 기판에서 일관성 있고 양질의 필름을 제공합니다.