판매용 중고 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 #9093688
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ID: 9093688
웨이퍼 크기: 8"
Chamber, 8"
Facility and Interface:
Altus module locations: Dual: Port 2 and 3
WTS (backbone) facilities connection configuration: Bottom facilities installation
Remote interconnect cables: 75 feet
Modular power distribution [MPD, DUAL, ALTUS, C2PDP]: 01-298450-11
DLCM-S:
ROBOT ASSY, MAG7, BISYMMETRIK ARM, DLCM: 02-262359-00
Transfer module to chamber valve (SMC Valve): 02-121427-00
Throttle valve kit, DLCM-S: 04-048579-02
Loadlock gate valve, SMC: 02-133799-00
Readiness kit: Dual altus ready
Software/Controls:
Module controller type: 02-272554-00, MC3
System controller type: 2-267883-00, MC3
System software (QNX): 5.1
DLCM-S IOC:
0 - IOC - 4.1
2 - IOC - 4.1
3 - IOC - 4.1
Altus IOC:
0 - SIOC - 4.30
1 - SIOC - 4.30
2 - SIOC - 4.30
3 (MPD) - SIOC - 4.10
Chase UI Kit: 02-117110-00
Process Chamber configuration:
SHWRHD, 200 mm, Style B: 03-00258-00
ASSY, PED, 200 mm MOER, D.3, SEMI: 02-033134-01
EXCL RING, 200 mm, 2.0 mm OH SEMI: 15-032777-00
Indexer plate, HUB: 15-034848-00
INDEXCER, WF, EXCL, OPTION, 200 mm: 15-00934-02
Spindle assembly: 02-126697-00
OPT ENDPT DET'R, MSTR, ALT-S: 04-0120458-00
Throttle Valve MKS (Pressure control valve): 27-250285-00
Gate valve, vat: 60-10015-00
Gas box configuration (CESCVD02177B):
Manifold A 1: Aera FC-7800CD, AR/2 SLM
Manifold A 3: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM
Manifold B 6: Aera FC-7800CD, C2F6/2 SLM
Manifold B 7: Aera FC-7800CD, O2/2 SLM
Manifold D 2: Aera FC-7800CD, SiH4/100 SCCM
Manifold H D: Aera FC-7800CD, Ar/20 SLM
Manifold W 4: Aera FC-7800CD. AR/20 SLM
Manifold W 5: Aera FC-7800CD, WF6/1 SLM
Manifold C 8: Aera FC-7800CD, Ar/10 SLM
Manifold C 9: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM
Baratron:
Altus, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00
Altus, CAP MANOMETER, HEATED 10 TORR: 27-10343-00
Altus, Backside, CAP MANOMETER< HEATED 100 TORR: 27-10340-00
DLCM-S, LOADLOCK, CAP MANOMETER, HEATER 100 TORR: 27-10340-00
DLCM-S, TM, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00
Supporting remote units:
(1) Process pump per process chamber: BOC Edwards, IH1000 - x2 for process pump typical
(1) Pedestal pump per process chamber: BOC Edwards, i80 - x2 for pedestal pump typical
(1) TM pump per system: BOC Edwards, i80 - x1 for TM pump typical
(1) LL pump per system, BOC Edwards, i80, x1 for LL pump typical.
NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2는 산업 처리 효율을 최적화하도록 설계된 원자로 기술입니다. 이 원자로는 안정성 향상, 처리 정확성 향상, 처리 속도 향상 등의 기능을 갖춘 공정 (process) 도구입니다. 원자로 (Reactor) 는 넓은 온도 범위에서 작동하며 산업 부문에 많은 유용한 기능을 제공합니다. CONCEPT 2 Altus 2 원자로의 기본 구성에는 신체, 게이트, 이미 터, 제어 인클로저 및 웨이퍼 보트가 포함됩니다. 원자로 의 차체 는 장수 와 안전 을 보장 하기 위해 내구성 있는 물질 로 만들어져 있다. "깨어라!" 이 원자로의 게이트는 핵심 구성 요소입니다. 저에너지 이온이 장비에 들어가는 부분입니다. 이 원자로의 방출 장치 (emitter) 는 게이트 (gate) 와 함께 작동하여 증착 및 에칭 공정에 필요한 하전 입자를 방출합니다. 제어 엔클로저에는 사용자가 프로세스를 최적화할 수 있는 전원 공급 장치, 온도 제어 (temperature control) 및 데이터 로깅 시스템이 있습니다. 마지막으로, 웨이퍼 보트 (wafer boat) 는 대상 재료를 수용하고 가공하기 위해 시스템으로 옮길 수있는 부품입니다. 증착과 에칭 과정에서, 사용자는 온도 범위, 전력 수준, 압력 수준을 조정해야합니다. 이를 위해 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 원자로는 여러 가지 유용한 기능을 제공합니다. 최첨단 온도 컨트롤러 (State-of-the-art temperature controller) 는 지정된 범위 내에서 온도를 정확하게 유지하는 반면, 전원 조절기 (Power Regulator) 는 장치 요구 사항에 따라 전원 입력 수준을 조정합니다. 이 프로세스는 이 원자로에서 사용할 수 있는 데이터 로깅 머신 (data logging machine) 에 의해 모니터링 및 조정될 수도 있습니다. 전반적으로 CONCEPT 2 Altus 2 원자로는 산업 처리에 유용한 기능을 갖춘 안정적이고 효율적인 공정 도구입니다. 증착 및 에칭 작업 중 정확성, 속도 및 안전을 보장합니다. 이 원자로는 또한 다른 산업의 요구에 맞게 큰 온도 범위를 제공합니다.
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