판매용 중고 NOVELLUS Chambers for Inova #9355346

NOVELLUS Chambers for Inova는 입력 및 출력 매개변수에 대한 정확하고 반복 가능한 제어를 제공하는 고급 공정 원자로입니다. 이 원자로를 사용하면 사용자가 최소한의 변화로 원하는 결과를 정확하고 일관되게 얻을 수 있습니다. 전자산업 (반도체· 마이크로일렉트로닉스· 광자· 광자 등) 에 사용되는 소재· 부품 생산에 이상적이다. Inova 용 챔버는 2 개의 챔버, 즉 진공 챔버와 반응 챔버로 구성됩니다. 진공실 은 공정 재료 의 압력 을 감소 시키는 데 사용 되며, 반응 "챔버 '는 재료 를 혼합 하고 반응 시키는 데 사용 된다. 두 챔버 모두 화학 반응에 대한 정확한 제어를 위해 가스 및 온도 조절을 특징으로합니다. 또한, 반응 챔버 (reaction chamber) 는 고급 유속 및 온도 모니터링 기능을 갖추고 있으며, 레시피를 정확하게 튜닝 할 수 있습니다. NOVELLUS Chambers for Inova에는 필름 두께와 남은 시간에 대한 실시간 피드백을 제공하는 통합 정전 용량 센서도 포함되어 있습니다. 이 기능을 통해 사용자는 증착 프로세스를 모니터링하고 최적화하여 일관된 수익률과 결과를 얻을 수 있습니다. Chambers for Inova는 사용하기 쉽고 유지 관리하기 위해 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스와 온보드 레시피 (On Board) 레시피 생성 도구를 갖춘 완전 통합 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 맞춤형 레시피의 개발을 단순화하며, 새로운 장비 (New Equipment) 사용자 사이에서 공통적으로 사용되는 학습 곡선을 줄일 수 있습니다. NOVELLUS Chambers for Inova에는 압력 분리 밸브 및 긴급 차단 시스템 (Emergency Shut-off System) 과 같은 고급 안전 기능도 있습니다. 이 기능을 사용하면 잠재적으로 위험한 재료를 안전하게 사용할 수 있으므로 사고 (accident) 또는 손상 (imposition) 을 줄일 수 있습니다. 전반적으로 Chambers for Inova는 강력하고 효율적인 공정 원자로 (process reactor) 를 제공하여 사용자에게 프로세스를 매우 효과적으로 제어합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 가장 고급 재료와 컴포넌트의 실험과 생산에 적합하며, 사용자가 안전하고 편안한 작업 환경을 갖도록 합니다.