판매용 중고 NOVELLUS Chambers for Inova #9282131

NOVELLUS Chambers for Inova는 고급 재료 처리를 위해 설계된 원자로입니다. 이 원자로는 330MHz, 8kW 유도 플라즈마 발전기로 제작 된 PECVD 챔버입니다. 그것은 66cm 깊이의 원통형 챔버를 가지고 있으며, 압력 범위 0.3 - 0.7 Torr에서 HF 플라즈마를 포함하도록 설계된 상판. 이 챔버 (chamber) 는 높은 온도에서 높은 증착 속도와 균일성이 필요한 직물에 이상적입니다. 원자로는 20 ° C ~ 1100 ° C (20 ° C) 의 다양한 온도를 달성 할 수 있으며, 이 챔버에서 광범위한 공정을 실행할 수 있습니다. 이노바 챔버 (Chambers for Inova) 의 핵심은 유도 플라즈마 생성기로, 챔버의 신뢰할 수있는 작동을위한 핵심 구성 요소입니다. 플라즈마 발전기 (Plasma Generator) 는 플라즈마의 신뢰성과 전력을 높이기 위해 AC 전원 공급 장치를 DC 공급 장치로 변환하는 다중 채널 변압기를 사용합니다. 그런 다음 AC 전류가 여러 코일을 통과하여 플라즈마를 생성하기 위해 전기장을 생성합니다. 이 장비 는 "플라즈마 '가 증착 과정 기간 동안 일관성 을 유지 하도록 동력 과 대역폭 으로 설계 되었다. 이 약실 은 또한 "플라즈마 '" 파라미터' 를 감시 하고 제어 하여 약실 내 의 균일성 을 보장 하도록 설계 된 동적 "컨트롤 '장치 를 자랑 한다. 제어 장치 (Control Unit) 는 플라즈마 발전기 내의 채널 전위 수준을 모니터링하고 챔버 내의 압력을 모니터링합니다. 또한, "컨트롤 머신 '은 가공 하는 재료 의 손상 위험 을 최소화 하기 위하여" 플라즈마' 의 힘 을 조정 할 수 있다. 노벨 루스 챔버 포 이노바 (NOVELLUS Chambers for Inova) 는 20 ° C의 낮은 온도에서 높은 증착율을 달성 할 수 있기 때문에 효율성이 높도록 설계되었습니다. 또한, 챔버 (chamber) 는 증착률 오류가 매우 낮은 넓은 표면 영역에서 균일 한 증착율을 달성 할 수 있습니다. 이 원자로는 높은 정확도와 효율성의 조합으로 인해 고성능 고급 재료를 제작하는 데 이상적인 선택입니다 (영문).