판매용 중고 NOVELLUS C3 WTS #9240252
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NOVELLUS C3 WTS는 고성능 열 처리 원자로로, 최신 마이크로 일렉트로닉 장치를 비용 효율적이고 효율적으로 생산할 수 있습니다. 동급의 다른 원자로의 처리량 (throughput) 과 품질 (quality) 을 3 배 까지 제공할 수 있는 첨단 열공정 원자로다. C3 WTS는 3 입방 피트 이상의 챔버 부피를 가지며, 최대 900 ° C의 온도까지 기질의 빠른 열 처리를 가능하게한다. 고속 질소를 사용하여 정확한 온도 조절을 보장하는 수직 다중 구역 가스 흐름 (multi-zone gas-flow) 장비를 기반으로합니다. NOVELLUS C3 WTS는 폐쇄 루프 피드백 장치 (closed-loop feedback unit) 및 다중 가스 흐름 제한 기계를 갖춘 고급 온도 제어 시스템을 통합하여 정확한 온도 영역 분할을 허용합니다. 세라믹 챔버 라이너 (ceramic chamber liner) 는 내구성이 뛰어나며 광범위한 온도에 장기적으로 노출 될 수 있습니다. 통합 절연체 (integrated insulation) 는 열 손실을 최소화하여 효율적인 프로세스 작동 및 안정적인 온도를 보장하도록 설계되었습니다. C3 WTS에는 고급 프로세스 제어 기술 (예: 예측 유지 관리 작업을 모니터링하고 활성화하는 센서 호스트) 도 포함되어 있습니다. 이 원자로에는 자동 청소, 데이터 수집, 추세 분석, 사이클 최적화, 샘플 추적 등의 기능도 포함되어 있습니다. 원자로에는 정확한 온도 조절 및 균일성을 가능하게하기 위해 고급 공정 제어 (advanced process control) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 NOVELLUS C3 WTS로 처리 된 모든 기판에 대해 일관된 성능 및 반복성이 보장됩니다. 또한 정확성과 안정된 성능을 제공하도록 설계된 고급 디지털 온도 컨트롤러를 사용합니다. 전반적으로, C3 WTS는 최신 마이크로 일렉트로닉 장치를 효율적이고 비용 효율적으로 생산하도록 설계된 고성능 열 처리 원자로입니다. 고급 온도 조절 도구 (Temperature Control Tool) 는 정확한 온도 조절 및 균일성을 보장하는 반면, 통합 센서는 예측 유지 관리 작업과 장기 내구성을 제공합니다. 안정적인 성능, 효율적인 운영 및 다중 프로세스 제어 기능을 갖춘 NOVELLUS C3 WTS (NOVELLUS C3 WTS) 는 최신 마이크로 전자 처리 시설의 귀중한 자산입니다.
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