판매용 중고 NOVELLUS C3 WTS MAX #293800178

NOVELLUS C3 WTS MAX는 탁월한 필름 균일성, 향상된 처리량, 향상된 생산성을 갖춘 반도체 장치의 대용량 생산을 위해 설계된 CVD (Advanced Chemical Vapor Deposition) 원자로 장비입니다. 이 혁신적인 도구는 차세대 집적회로 (Integrated Circuit) 와 고급 패키징 어플리케이션 (Advanced Packaging Application) 에 대한 반도체 산업의 까다로운 요구 사항을 충족시키기 위해 특별히 개발되었습니다. C3 WTS MAX 원자로는 최첨단 기술 및 엔지니어링 설계를 통해 소형 설치 공간에서 뛰어난 성능과 안정성을 제공합니다. WTS (Multiple Wafer Transfer Station) 를 장착하여 가동 중지 시간을 최소화하고, 운영 효율성을 최적화하고, 전반적인 소유 비용을 절감할 수 있습니다. NOVELLUS C3 WTS MAX 원자로의 주요 하이라이트 중 하나는 고급 가스 전달 시스템 (Advanced Gas Delivery System) 으로 웨이퍼 표면에 걸쳐 프로세스 가스의 정확한 제어 및 균일 한 분포를 보장합니다. 이로 인해 뛰어난 스텝 커버리지 (step coverage) 와 최소한의 결함으로 고품질의 필름 증착이 이루어져 디바이스 성능과 안정성이 향상됩니다. 원자로에는 정교한 온도 조절 장치 (temperature control unit) 가 장착되어 있어 정밀한 난방 및 냉각 기능을 제공하며, 특정 장치 응용프로그램 (application) 을 위한 맞춤형 속성을 갖춘 다양한 박막 (thin film) 을 증착할 수 있습니다. 웨이퍼 전체의 온도 균일성은 단단한 공차 (tolerance) 로 유지되어 일관된 필름 특성과 장치 성능을 보장합니다. C3 WTS MAX 원자로는 또한 빠른 펌프 다운 (Pump Down) 및 프로세스 가스의 효율적인 제거 (Purge) 를 가능하게하여 빠른 주기 시간 및 높은 처리량을 가능하게하는 고효율 진공기를 갖추고 있습니다. 이 툴은 간편한 유지 관리 및 서비스 편의성, 액세스 가능한 구성 요소 및 사용자 친화적 인터페이스 (운영 및 문제 해결) 를 위해 설계되었습니다. 또한, NOVELLUS C3 WTS MAX 원자로에는 최적 필름 품질 및 장치 성능을 위해 프로세스 매개변수를 정확하게 튜닝할 수있는 실시간 모니터링 및 피드백 (feedback) 메커니즘을 포함한 고급 프로세스 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이 자산은 현장 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 고급 도량형 (metrology) 툴과 통합될 수 있으며, 프로세스 제어를 강화하고, 최적화를 실현할 수 있습니다. 전반적으로 C3 WTS MAX 원자로는 대용량 반도체 제조를 위한 다재다능하고 안정적인 도구로서, 업계의 발전하는 요구에 부합하는 탁월한 성능, 생산성, 유연성을 제공합니다. 첨단 기능· 기술로 반도체 시장에서 첨단 노드기술 (node technology) 과 신흥 애플리케이션 (application) 을 위한 이상적인 솔루션으로 꼽힌다.