판매용 중고 NOVELLUS Altus #9261414

NOVELLUS Altus는 고급 재료 증착 및 에치 공정을 위해 설계된 고성능, 차세대 증착 코터입니다. 독보적인 고급 아키텍처 설계를 통해 초고소재 증착율 (ultra-high material deposition rate) 및 탁월한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. Altus 플랫폼은 FinFET, MEMS, 3D NAND 및 기타 복잡한 구조의 제작을 위해 설계되었습니다. 노벨 루스 알투스 (NOVELLUS Altus) 는 필름 두께가 높은 레이어를 배치하고 패턴화할 수 있으며, 정밀도와 반복성이 높은 에치 (etch) 기능을 제공합니다. Altus 장비는 하드웨어와 소프트웨어를 결합하여 정확한 재료 매개변수, 우수한 프로세스 제어, 뛰어난 균일성을 제공합니다. 이 시스템에는 석판화 및 에치 하드웨어, 고급 증착 모듈이 있습니다. 로터리 (rotary) 와 선형 (linear) 메커니즘을 모두 사용하여 혁신적인 2 단계 순차 원자로 설계를 사용하여 코일의 고속 회전을 허용합니다. 이것 은 증착 과정 을 고도 로 제어 하는 한편, 물질적 특성 에 있어서 보다 균일성 을 유지 한다. 그렇다. 이 장치는 등각, 재스퍼터 및 그림자를 포함한 다양한 필름 유형에 대해 구성 될 수도 있습니다. 독특한 2 단계 측정 프로세스를 사용하여 진정한 정확한 필름 두께를 제공합니다. 또한, 등각 증착 단계를 통해 미세 제어 피쳐 크기의 3 차원 모양을 생성 할 수 있습니다. 노벨 루스 알투스 (Novellus Altus) 플랫폼은 또한 정확한 필름 등록을위한 빠르고 정확한 정렬 머신과 뛰어난 코팅 균일성을위한 독점적 인 고급 아키텍처 증착용 보트를 갖추고 있습니다. 또한 고속 필름 처리량 (high-speed film throughput) 기능을 통해 대형 레이어도 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. Altus 도구는 하드웨어 구성 요소 외에도 독점 소프트웨어를 사용하여 증착 프로세스를 제어합니다. 이 소프트웨어에는 자동 pellicle 로드, 스마트 펌프 다운 최적화, 기능 등록 (feature registration) 및 각 특정 프로세스의 요구 사항에 맞춘 기타 여러 기능 옵션이 있습니다. NOVELLUS Altus는 사용자에게 고정밀도, 고해상도, 균일성 증착 및 에치 프로세스의 힘을 제공하는 혁신적인 제품입니다. 첨단 아키텍처 (Advanced Architecture) 를 통해 최첨단 전자 제품 제작을 위한 광범위한 프로세스를 처리할 수 있습니다.