판매용 중고 NOVELLUS Altus #9261397

NOVELLUS Altus는 NOVELLUS가 개발 한 차세대 고압 화학 증기 증착 (HPCVD) 원자로입니다. HPCVD의 박막 증착 과정을 20 개 이상의 대기 중 초고압 환경에 도입 한 최초의 장비입니다. 이 혁신적인 기술은 뛰어난 접착력, 뛰어난 품질 제어, 저해상도 저해상도의 고품질, 균질한 박막 (Thin Film) 의 증착을 가능하게 합니다. 알투스 (Altus) 는 멀티 챔버 시스템으로, 주 챔버 및 현장 공정 챔버로 증착, 청소 및 연금을위한 3 개의 개별 가스 전달 시스템을 지원합니다. 또한 압력과 온도, 가스 흐름, 믹싱에 이르기까지 프로세스 조건에 대한 정확한 제어를 제공하는 혁신적인 고압 증착 모듈을 제공합니다. NOVELLUS Altus의 증착 과정은 다양한 유형의 재료에 맞게 맞춤 될 수 있습니다. 효율성이 높으며, 기판 전체에 걸쳐 레이어 두께를 균일하게 분포시킵니다. 또한, 낮은 오염 수준을 제공하여 결함이 최소한으로 우수한 품질의 제품을 제공합니다. 알투스 (Altus) 는 매우 다양한 장치이며 평면 패널 디스플레이, 반도체 칩, 데이터 저장 장치 등 다양한 박막 증착 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 또한 에너지 재활용 여과, 가스 원자 화, 저압 CO2 청소부, 에너지 절약을 위해 설계된 밸브 등 에너지 효율성을 갖도록 설계되었습니다. NOVELLUS Altus 기계는 매우 사용자 친화적이며 쉽게 작동 할 수 있습니다. 이 제품은 안전하고 사용이 간편한 유지 보수 프로세스 (maintenance process) 와 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 신속한 운영 및 설정을 보장하여 다운타임을 줄여줍니다. 전반적으로 Altus는 다양한 씬 필름 어플리케이션을 위해 탁월한 균일성, 저오염, 초고압 증착 기능을 제공하는 고급 HPCVD 원자로입니다. 탁월한 성능과 뛰어난 씬 필름을 위한 매우 효율적이고, 다용도, 사용자 친화적인 툴입니다.