판매용 중고 NOVELLUS 02-134264-00 #293663402

NOVELLUS 02-134264-00 Reactor는 고성능 에칭 및 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 플라즈마 처리 장비입니다. 이 첨단 원자로는 초고출력 플라즈마 소스와 동적 공정 제어 (dynamic process control) 를 활용하여 다양한 기판 및 재료에 적합합니다. 02-134264-00 Reactor는 통합 플라즈마 제어 플랫폼을 갖추고 있으며, 이를 통해 정확한 현장 공정 모니터링이 가능합니다. 이 플랫폼은 이온 전류, RF 전력, 소스 온도, 반응물 분포 등 다양한 플라즈마 매개변수를 모니터링하여 일관된 에칭 및 증착 작업을 보장합니다. 프로세스 최적화를 촉진하기 위해, 제어 플랫폼은 사용자 정의, 실시간 보고 기능을 생성할 수 있습니다. 기판 호환성 측면에서 NOVELLUS 02-134264-00 Reactor는 금속, 산화물, 질화물, 복합물 등 다양한 표면에서 식각 및 퇴적할 수 있습니다. 이 시스템의 동적 전원 범위 (dynamic power range) 는 다양한 표면과 기판에서 안정적인 에칭 및 증착을 보장합니다. 02-134264-00 원자로에는 고급 안전 기능도 장착되어 있습니다. 통합 공정 안전 장치 (Integrated Process Safety Unit) 는 원자로의 온도, 압력 및 전원 수준을 모니터링하여 안정적이고 안전한 플라즈마 처리 작업이 유지되도록 합니다. 또한, 원자로는 UL 인증을 받았으며, 모든 안전 요구 사항을 충족시킵니다. 물리적 설계를 위해 NOVELLUS 02-134264-00 Reactor는 고정밀 소형 방사형 가스 유통 네트워크로 설계되었습니다. 이 고효율 배포 네트워크 (HPN) 는 최적의 성능과 안정성을 위해 플라즈마 하중이 챔버 전체에 제대로 분산되도록 합니다. 원자로는 또한 모듈 식 (modular) 구조와 작은 발자국을 갖추고 있어 설치와 유지 보수가 용이합니다. 요약하면, 02-134264-00 Reactor는 에칭 및 증착 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 플라즈마 처리 기계입니다. 통합 플라즈마 제어 플랫폼은 정확한 현장 프로세스 모니터링을 보장합니다. 기판 호환성 (Substrate Compatibility) 과 동적 전원 범위 (Dynamic Power Range) 를 통해 광범위한 재료에서 안정적인 에칭 및 증착 작업을 수행할 수 있습니다. 원자로 는 또한 고급 안전 기능 을 갖추고 "플라즈마 '처리 작업 에 최적 의 안전 을 제공 한다. 마지막으로, 고정밀 방사형 가스 유통 네트워크 (radial gas distribution network) 와 작은 설치 공간은이 장치를 쉽게 설치하고 유지 관리합니다.