판매용 중고 NAURA / AKRION / NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550 #9358479

NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550은 반도체 재료 처리를 돕기 위해 설계된 원자로입니다. 이것 은 여러 소스 "가스 '와 주변" 가스' 의 제어 된 흐름 을 결합 시켜 원하는 "필름 '증착 을 위한" 플라즈마' 상태 를 형성 함 으로써 달성 된다. NAURA EPEE 550은 주변 가스의 압력, 온도, 유속 및 필름 증착을위한 소스 가스의 구성을 제어 할 수 있습니다. 원자로 는 또한, 보다 공격적 인 증착 속도 의 요구 조건 을 지원 하기 위하여 활성화 된 "가스 '를 발산 할 수 있다. AKRION EPEE 550은 작동에 필요한 모든 하드웨어가 장착 된 진공 챔버로 구성됩니다. 외부 "가스 '조절" 시스템' 은 "가스 '를 약실 로 흘리는 것 을 혼합 하고 조절 하고 고려 하는" 챔버' 에 포함 된다. 챔버는 0-30 mTorr 사이의 가스 압력을 조절하기 위해 장착됩니다. 챔버 내의 열전대 (thermocouple) 는 컨트롤러에 피드백을 제공하여 챔버 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 외부 가스 제어 시스템은 최대 5 개의 다른 가스를 혼합 할 수있는 4 개의 개별 가스 라인에 액세스합니다. 이를 통해 다양한 증착 공정에 대한 광범위한 가스 조합이 가능합니다. 마지막으로, 고주파 생성기 (High Frequency Generator) 도 챔버에 포함되며 플라즈마 조건의 활성화 및 조작을 허용합니다. 노스 마이크로 일렉트로닉스 에피 550 (NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550) 은 반도체 재료 처리에 대한 품질 솔루션을 제공할 뿐만 아니라, 실제 필름 증착 과정과 관련하여 많은 반복성을 제공합니다. 이것 은 전체 과정 에서 약실 온도, 압력, "가스 '성분 을 일관성 있게 제어 하는 약실 의 능력 에 의해 달성 된다. 또한, EPEE 550은 또한 보다 공격적인 8nm 증착 과정을 수행 할 수있는 암모니아 소스를 포함한다. 결론적으로 NAURA/AKRION/NORTH MICROELECTRONICS EPEE 550은 반도체 재료 처리를 돕기 위해 설계된 원자로입니다. "가스 '의 압력, 온도, 유속 을 조절 하는 능력 과" 가스' 의 "가스 '를" 필름' 증착 에 사용 할 수 있도록 구성 하는 것 은 실제 증착 과정 을 통해 고도 의 반복성 을 제공 한다. 또한, 고주파 생성기 (High Frequency Generator) 는 더 엄격한 박막 증착 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이것은 NAURA EPEE 550을 반도체 처리에 이상적인 솔루션으로 만듭니다.