판매용 중고 NAURA / AKRION iTOPS A230 #293639722

ID: 293639722
Sputtering system.
NAURA/AKRION iTOPS A230은 마이크로 전자 공정에 사용되는 ICP (Inductively Coupled Plasma) 원자로입니다. 이 원자로는 미세 구조, 초박형 필름, 고화질 구멍의 증착을 가능하게 하는 고성능, 기술적으로 진보된 장치입니다. 고급 나노 재료 및 반도체 제조 생산에 이상적인 솔루션입니다. NAURA iTOPS A230은 전기 자기 코일에 고주파 교류 전류를 적용하여 작동하며, 이는 자기 모멘트로 다극성 유도 장을 생성합니다. 이 필드는 대상 재료의 지역화 된 가열을 생성하여 이온화 (ionization) 라는 프로세스를 유도합니다. 이 과정에서, 자기장은 표적 물질의 전자가 원자핵 주위를 공전하도록 만들고, 물질이 고온으로 가열되면, 전자가 탈피하여 이온화 된 입자를 형성한다. & # 160; & # 160; 이온화 된 입자는 챔버의 다른 입자와 반응 할 수 있으며, 자기장 (magnetic field) 을 사용하여 원하는 미세 구조, 필름 또는 구멍을 침착시키기 위해 조작된다. 강력한 다극성 유도 필드 외에도 AKRION iTOPS A230은 고유 한 소스 가스 전달 시스템을 통합합니다. 이 "시스템 '은 반응" 챔버' 에 사용 되는 "가스 '의 압력 과 흐름 을 조절 하여 정확 한 증착" 파라미터' 를 최적화 한다. 이 정밀도는 최고 수준의 영화 성능을 유지하는 데 중요합니다. 또한, iTOPS A230 은 여러 도구 구성을 수용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 운영 프로세스의 유연성을 극대화할 수 있습니다. 사용자 편의를 위해 NAURA/AKRION iTOPS A230은 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 모터와 인터 록 (Interlock) 은 컴포넌트를 변경할 때 운영자가 라이브 부품에 액세스하지 못하도록 방지하며, UV 광 및 전원 모니터링 시스템은 작동 중 안전성을 보장합니다. 또한, 원자로는 각 실행 후 자동으로 쿨다운 (cool-down) 되어 오염으로부터 추가적인 보호를 제공합니다. NAURA iTOPS A230은 안정적이고 고급 ICP 원자로로, 고급 나노 물질, 영화 및 미세 구조를 제작하기 위해 특별히 설계되었습니다. 강력한 다극성 유도 분야, 소스-가스 전달 시스템 (source-gas delivery system), 내장형 안전 기능, 사용자 정의 가능한 도구 구성은 사용자가 품질 제품을 생산하기 위해 필요한 정확성과 유연성을 제공합니다.
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