판매용 중고 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Exim #293609622

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Exim은 원자로, 특히 전자 부품 및 재료 개발에 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 도구의 한 유형입니다. 원자로는 높은 순도 공정 챔버 환경, 광범위한 공정 범위, 정확한 공정 제어 (process control) 를 제공하도록 설계되었습니다. MRC Exim 원자로는 주로 반도체 웨이퍼 및 평면 패널 디스플레이 제조에 사용됩니다. TEL Exim 원자로 제품군은 각각 다른 기능을 제공하도록 설계된 XE100, XE200 및 XE300의 3 가지 유형의 기계로 구성됩니다. XE100 (XE100) 은 기본적으로 단일 웨이퍼 도구이며, 여러 배치 처리 기능을 제공하는 경제적이지만 다용도 플랫폼입니다. XE200은 약간 더 복잡하며 복잡한 산화물의 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 과 같은 고성능 단일 웨이퍼 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 마지막으로, XE300 모델은 MRC 프로세스 제어 시스템 및 전체 배치 처리 기능과의 통합을 제공하는 3 가지 모델 중 가장 발전된 모델입니다. 도쿄 전자 엑심 (TOKYO ELECTRON Exim) 원자로는 강력한 반도체 제조 환경의 요구 사항에 따라 주로 스테인리스 스틸로 구성됩니다. 이 디자인에는 웨이퍼 삽입 및 가공을위한 공정 챔버 (plasma 생성 용 포트, 화학 물질 주사, 가열 요소 및 부산물 대피) 가 포함됩니다. 또한, 프로세스 중에 생성 된 유해 물질 및 증기로부터 인원을 보호하는 데 사용되는 안전 (Safety) 기능이 있습니다. 원자로는 빠른 열 annealing, MOCVD, PECVD, etching 및 photoproduction 프로세스를 포함한 다양한 프로세스 매개 변수를 지원하도록 설계되었습니다. 이러 한 과정 은 필요 한 화학적 전구체 를 "가스 '형태 로 도입 함 으로써 달성 되는데, 그 전구체 는 급속 히 가열 되고 활성화 되어 원하는 것 을 형성 할 수 있다. 체내 의 온도, 압력, 여러 가지 "가스 '환경 의 정확 한 조작 을 통하여, 엄청나게 정확 하고 반복 할 수 있는 전자 부품 과 재료 들 을 개발 할 수 있다. 엑심 (Exim) 원자로 제품군은 매우 유연하고 견고한 공구로, 매우 정확하고 안정적인 전자 부품과 재료를 만들 수 있습니다. 이 원자로는 다양한 프로세스 기능 (process capability) 과 정확한 프로세스 제어 (process control) 를 통해 최신 반도체 제조 시설에 귀중한 도구입니다.