판매용 중고 LAM RESEARCH STRATA-GX #293654487

LAM RESEARCH STRATA-GX는 반도체 및 기타 고급 재료 응용 분야의 플라즈마 처리를 위해 설계된 차세대 원자로입니다. 원자로는 탱덤 챔버 (tandem-chamber) 유형이므로 플라즈마 생성 및 처리 조건을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 첫 번째 방에는 이온 원 (ion source), 중화기 (neutralizer) 및 중성 빔 (neutral beam) 을 포함한 다양한 고급 스러 스터가 있습니다. 이러한 구성 요소를 사용하면 높은 전력 효율로 고밀도 플라즈마를 생산할 수 있습니다. 제 2 챔버에는 전극, 벽, 방패, 에치 또는 증착 대상과 같은 주요 공정 컴포넌트가 포함되어 있습니다. STRATA-GX 원자로는 사용자 친화적인 자동화 및 프로세스 제어를 통해 설계되었으며, 최고 수준의 성능과 안전 (safety) 을 제공하고자 합니다. 최종 이펙터, 센서, 분석기 등 필요한 모든 구성 요소가 원자로 (reactor) 에 통합되어 최적의 성능을 보장합니다. 고급 프로세스 제어 알고리즘은 프로세스 매개변수의 정확한 실시간 조정을 가능하게 하며, 정확성과 반복성을 극대화합니다. LAM RESEARCH STRATA-GX 원자로는 또한 플라즈마 공정의 품질을 보장하기위한 고급 진단을 제공합니다. 빔 전류 모니터링 (beam current monitoring), 플라즈마 전자 온도 측정, 화학 조성 분석 (chemical composition analysis) 및 기판 표면 이미징 (substrate surface imaging) 과 같은 진단 배열이 종합적인 프로세스 통찰력을 위해 시스템에 통합됩니다. STRATA-GX 원자로도 안전이 광범위하게 고려됩니다. 원자로에는 온도 제한, 챔버 압력 모니터링, 플라즈마 위험 (Plasma Hazard) 억제 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 원자로에는 모든 잠재적 위험을 감지하고 대응하기 위해 다양한 정교한 안전 프로토콜 (safety protocol) 이 장착되어 있습니다. LAM RESEARCH STRATA-GX 원자로는 수많은 반도체 및 고급 재료 처리 어플리케이션에 이상적인 시스템으로, 고급 프로세스 기능, 정확한 프로세스 모니터링 및 진단, 포괄적인 안전 기능을 제공합니다. 안정적이고 현장에서 검증된 이 시스템은 가장 까다로운 어플리케이션에 대한 성공적인 플라즈마 처리 결과를 제공합니다.