판매용 중고 LAM RESEARCH STRATA-GX #293626279

제조사
LAM RESEARCH
모델
STRATA-GX
ID: 293626279
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2016
CVD System, 12" 2016 vintage.
LAM RESEARCH STRATA-GX는 다양한 기판에 고급 에치 처리 기능을 제공하도록 설계된 고성능 유도 결합 플라즈마 기반 원자로입니다. 챔버 구조와 컴포넌트의 원자로 조합은 개선 된 공정 속도로 반복 가능한 고밀도 플라즈마 (HDP) 처리를 가능하게한다. STRATA-GX 원자로는 MEMS, 딥 실리콘, 바이오 메디컬 및 플랫 패널 디스플레이 응용 프로그램 등 다양한 응용 프로그램에 대해 기판 왜곡이 적은 기하학적으로 균일하고 고속 에칭을 제공합니다. 원자로는 멀티 포인트 서셉터, 3 구역 선형 유도 결합 플라즈마 (LICP) 소스 및 균일 한 전력 전달 시스템을 결합하여 다양한 프로세스 흐름 및 다중 에치 속도로 반복 가능한 결과를 생성 할 수 있습니다. LAM RESEARCH STRATA-GX는 넓은 프로세스 윈도우에서 뛰어난 균일성을 제공하여 플라즈마 손상을 더욱 줄이고 에칭 프로세스를 최적화하도록 설계되었습니다. STRATA-GX 원자로의 설계는 플라즈마 밀도 제어, 사용자 정의 압력 프로파일, 다중 플라즈마 타이밍, 멀티 포인트 균일성, 전원 제어 등 다양한 프로세스 매개변수를 지원합니다. 이러한 유연성을 통해 사용자는 에칭 (etching) 성능을 최적화하고 고급 프로세스 제어를 통해 이점을 얻을 수 있습니다. LAM RESEARCH STRATA-GX는 입자 형성 및 에치 손상을 줄이는 데 도움이되는 플라즈마 화학 상호 작용에 최적화되었습니다. 원자로에는 반응물과 제품 가스를 모두 제어 할 수있는 PWM (optimized pulse-width modulation) 제어 기능이 있습니다. PWM (PWM) 기능은 반응물의 이동성을 추가로 제어하며 더 큰 균일성과 더 적은 에지 바이어스 에칭을 허용합니다. STRATA-GX (STRATA-GX) 는 또한 기판에 더 큰 조리개를 배치하여 더 높은 에치 레이트에서 더 큰 균일 성을 보장 할 수있는 고급 조리개 시스템을 갖추고 있습니다. 조리개 시스템은 또한 한 재료에 대해 En Etch Rate가 다른 재료에 비해 높은 Etch Selectivity를 개선하는 데 도움이됩니다. LAM RESEARCH STRATA-GX 원자로는 대용량 장치 생산을위한 최고의 처리량을 제공하며 대부분의 기존 etch 처리 구성 요소와 하위 호환됩니다. STRATA-GX 는 에치 (etch) 생산 기능에서 경쟁 우위를 확보하고자 하는 장치 엔지니어들에게 이상적인 툴입니다.
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