판매용 중고 LAM RESEARCH SOLA #9314232

LAM RESEARCH SOLA 원자로는 원자 규모 물질 증착을위한 첨단, 최첨단, 유연한 플라즈마 기반 증착 도구입니다. 주로 박막 증착, 정전기 스퍼터링, 초박막 증착과 같은 다양한 반도체 및 표면 엔지니어링 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 이 도구는 NADSPL (Non-Activated Dual Source Dual Electrode Plasma) 아키텍처를 사용하여 매우 정밀하고 반복 가능한 매우 얇은 필름 증착 (일반적으로 0.01 하이퍼 나노 미터 미만) 을 허용합니다. NADSPL 기반 SOLA에서는 2 개의 독립적 인 RF 소스를 사용하여 2 개의 별개의 플라즈마 소스를 생성합니다. 하나는 주요 증착 과정이고, 하나는 가공소재를 에칭하는 과정입니다. LAM RESEARCH SOLA의 디자인은 단일 패키지에서 단일 원자로 이중 플라즈마 기능을 제공하여 프로세스 처리량을 크게 증가시킵니다. SOLA는 또한 고급 이온화 컨트롤과 다양한 멀티 파워 및 멀티 포지션 플라즈마 소스를 제공합니다. 다중 전원 (Multi-Power) 을 사용하면 전체 기판에서 웨이퍼 프로파일을 최적화할 수 있으며, 다중 위치 (Multi-position) 소스를 사용하면 증착 과정에서 프로세스 조건을 정확하게 제어할 수 있습니다. LAM RESEARCH SOLA에는 광범위한 특수 센서, 다중 센서 온도 제어, 현재 사용 가능한 최고 정확도 인코더 장비 등 최신 기술이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 공정 챔버 (Process Chamber) 내에 재료를 정확하게 배치하여 높은 품질 (Quality) 및 성능 (Performance) 표준을 충족하는 제품을 쉽게 생성할 수 있습니다. SOLA는 또한 환경에서 입자 오염을 완화하기위한 고급 장치를 갖추고 있습니다. 이 기계에는 공정 가스 조성을 제어하기위한 입자 트랩, 필터 및 시스템이 포함됩니다. 즉, 프로세스는 운영자와 생산된 최종 제품 모두에게 안전합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH SOLA 도구는 초박막 및 기타 복잡한 원자 규모 재료의 증착을위한 고급 도구입니다. 제품 품질 향상, 프로세스 비용 절감, 시간 낭비 최소화 등 다양한 첨단 기술을 갖추고 있습니다 (영문).