판매용 중고 LAM RESEARCH SOLA #9312000

LAM RESEARCH SOLA는 반도체 생산 성능 및 장치 생산량을 극대화하기 위해 설계된 최첨단 원자로 기술입니다. SOLA 기술은 우수한 균일성, 반복성 및 증착율 제어를 제공하는 플라즈마 강화 CVD (PECVD) 증착 장비입니다. 이 시스템은 저압 (low pressure) 으로 작동하여 뛰어난 적합성과 스텝 커버리지를 갖춘 고품질 영화를 만들 수 있습니다. 이 장치는 다양한 증착 구성을 위해 4 개의 독립적으로 제어 된 가스 소스를 사용합니다. 필름의 성장 프로파일을 제어하는 데 도움이되는 모든 반응물 (reactant) 간의 정확한 동기화를 위해 고급 타이밍 머신 (advanced timing machine) 이 통합되었습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 균일 한 가스 분포를위한 샤워 헤드 (showerhead) 또는 고정밀 목표 및 소스 가스 투여를 허용하는 다양한 주입 모듈 (injection module) 과 같은 다양한 액세서리로 구성 될 수도 있습니다. 이 도구는 또한 저온 균일성을 유지하면서 빠른 가열/냉각이 모두 가능한 고급 열 제어 에셋 (thermal control asset) 을 갖추고 있습니다. 이것은 불필요한 열 스트레스없이 신뢰할 수있는 증착 프로세스 레시피에서 높은 수율을 달성하는 데 도움이됩니다. 열 제어 모델은 적외선 히터, 터보 분자 펌프, 냉음극 (cold cathode) 의 조합을 사용하여 프로세스 환경을 관리합니다. 또한, 이 장비에는 다양한 안전 및 모니터링 시스템 (Safety and Monitoring Systems) 이 장착되어 있어 프로세스 매개변수를 최적으로 제어하고, 인력을 위험 요소로부터 보호할 수 있습니다. 이 시스템에는 누출 탐지기, 인터 록 (interlock) 및 다양한 프로세스 제어 경보가 포함되어 있어 안정적인 프로세스 제어 (process control) 를 유지하고 장치 작동을 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH SOLA는 안정적이고 반복 가능한 최첨단 기술로, 뛰어난 균일성, 증착율 제어, 필름 품질을 제공합니다. 우수한 성능으로 인해, SOLA는 광전자 (optoelectronics) 에서 특수 화학 물질에 이르기까지 광범위한 산업의 응용 분야에 적합합니다.