판매용 중고 LAM RESEARCH Sabre 3D #9300020

LAM RESEARCH Saber 3D는 3 차원 유도 결합 반응성 스퍼터 증착실로, 박막의 정밀 스퍼터 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 세이버 3D (Saber 3D) 의 독특한 고효율 밀도 제어 메커니즘은 정확한 두께와 컴포지션의 입자를 증착시켜 필름 증착에 대한 더 큰 제어를 가능하게한다. LAM RESEARCH Saber 3D의 강력한 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스는 강렬한 에너지 장을 생성하여 입자를 대상 물질로부터 높은 속도로 스퍼터링합니다. 이것은 일관되고 균일 한 필름 증착을 보장하여 뛰어난 코팅 성능을 제공합니다. 세이버 3D (Saber 3D) 에는 2 개의 독립적 인 플라즈마 소스가 있으며, 하나는 하실에, 다른 하나는 상실에 장착되어 있으며, 동일한 실행에서 2 개의 기판에 재료를 증착 할 수있다. 기존의 스퍼터링 시스템에 비해 주요 장점은 증착률, 균일성 향상, 결함 감소입니다. LAM RESEARCH Saber 3D는 고속 증착을 제공하는 것 외에도 뛰어난 표면 준비 및 에칭 기능을 제공합니다. 메쉬 된 음극과 혁신적인 필라멘트 기하학 (filament geometry) 은 플라즈마 에칭을위한 강렬한 필드를 만들어 내고, 표면 준비가 뛰어나고 필름 균일성이 향상됩니다. 세이버 3D (Saber 3D) 는 증착 전에 기판을 에칭하는 데 사용될 수도 있으며, 높은 생산성과 향상된 프로세스 제어를 가능하게합니다. LAM RESEARCH Saber 3D에는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능도 제공됩니다. 공정 매개변수 (Process Parameter) 를 지속적으로 모니터링하는 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 이 장착되어 있어 필름 증착의 중요한 단계를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 프로세스 튜닝, 자동 프로세스 제어, SPC (Statistical Process Control) 와 같은 프로세스 제어 도구도 쉽게 사용할 수 있습니다. 전반적으로, Saber 3D는 매우 다재다능하고 효율적인 유도 결합 반응성 스퍼터 증착실로, 박막의 정밀한 스퍼터 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능, 탁월한 표면 준비 및 에칭 기능, 탁월한 속도 증착 기능 등을 통해 까다로운 박막 증착 어플리케이션 (Thin-film Deposition Application) 을 위한 탁월한 선택입니다.