판매용 중고 LAM RESEARCH Sabre 3D #293620476

LAM 리서치 세이버 3D (LAM RESEARCH Saber 3D) 는 혁신적인 에치 및 증착 프로세스를 가능하게 하도록 설계된 첨단 원자로로, 다양한 업계에서 뛰어난 제조 능력을 제공합니다. 2 개의 모듈 식 챔버 옵션이 있으며, 이는 3D (3D) 아키텍처뿐만 아니라 고가로 비율의 스케일링을 할 수 있습니다. Saber 3D는 또한 유지 보수 요구를 최소화하면서 TCO (총소유비용) 를 낮추는 자동 배치 프로세스를 제공합니다. 첨단 하드웨어/소프트웨어 최적화를 통해, 원자로 (Reactor) 는 생산 수준 및 연구 수준 어플리케이션 모두에 필요한 고품질 성능, 반복 가능성, 신뢰성을 보장합니다. LAM RESEARCH Saber 3D의 주요 기능에는 뛰어난 에치 정확도 및 오버랩 제어, 강력한 증착 속도, 균일성, 다양한 재료 호환성이 포함됩니다. 출시 시기는 모듈식 챔버 옵션, 자동 배치 프로세스, 고급 하드웨어/소프트웨어 최적화 등으로 더욱 향상되었습니다. 에치 정확성을 위해, 원자로는 새로운 RF-자기장 및 등방성, 대칭 에칭 프로파일을 사용하여 프로세스 반복 성을 향상시킨다. 증착 속도와 균일성을 위해 세이버 3D (Saber 3D) 는 뛰어난 평면 화 특성을 가진 높은 필름 성장률 및 등각 필름을 허용합니다. 전체 "시스템 '은 최적 의 사용 에 최적화 되어 훌륭 한" 에치' 와 증착 과정 을 "통일성 '을 통해 보다 짧은 시간 내 에 완료 할 수 있게 해 준다. 또한 하드웨어 구성 요소는 하나의 통합 장치 (Integrated Unit) 로 설계되어 능률적인 성능과 사용 편의성을 제공합니다. 3 가스 주입 능력을 활용하여 2 가스 시스템보다 효율성이 높습니다. 또한 LAM 리서치 세이버 3D (LAM RESEARCH Saber 3D) 는 동적 압력 및 온도 조절을 특징으로하며, 원자로 (reactor) 는 다양한 작동 설정에서 작동 할 수 있으며, 여전히 최고 수준의 정밀도와 반복 성을 얻을 수 있습니다. 재료 호환성 관점에서 Saber 3D는 저항 기반 에칭 및 증착에 완벽하게 적합하며 중요 크기 (CD), 기능 균일성 및 필름-온-필름 커버리지를 제어하는 데 최적화되어 있습니다. 원자로는 유전체, 도체, 절연체 (insulator) 와 같은 다른 필름에도 사용될 수 있으므로 다양한 응용 분야에 적합합니다. 요약하면, LAM RESEARCH Saber 3D는 획기적인 에치 및 증착 프로세스를 가능하게하도록 설계된 고급 원자로입니다. 이 제품은 두 가지 옵션 (모듈식 챔버) 과 고급 하드웨어/소프트웨어 최적화 (에치 정확도, 오버랩 제어, 높은 증착 속도 및 균일성) 를 제공합니다. 뛰어난 재료 호환성, 동적 압력 (Dynamic Pressure) 및 온도 제어 (Temperature Control) 기능을 통해 원자로는 광범위한 작동 설정에서 작동하여 최고 수준의 정밀도 및 반복성을 보장하며, 자동 배치 (Autodeposition) 프로세스를 통해 최소한의 유지 관리 요구에 따라 제조 속도를 높일 수 있습니다.