판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244820

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 정확하고 신뢰할 수있는 에칭 및/또는 애싱이 필요한 가장 어려운 최첨단 기술을 처리하도록 특별히 설계된 올인원 에처/애셔입니다. NOVELLUS Vector는 RACS (Revolutionary Automation Control Equipment) 를 사용하여 각 프로세스가 중요한 사양에 맞게 제어되도록 합니다. 이것은 모든 주기에 대해 균일하고 반복 가능한 에치 및 재 결과를 보장합니다. LAM RESEARCH Vector에는 조용하고, 낮은 진동, 입자 제어, 진공 시스템 및 더 빠른 처리를 지원하는 고효율 원격 플라즈마 소스가 장착되어 있습니다. 에치 레이트 (etch rate) 와 수율을 크게 증가시키는 모듈 식 로봇 타입 엔드 이펙터 (modular, robotic-type end effector) 뿐만 아니라 높은 수준의 정확도를 유지하면서 에칭 시간을 줄이기 위해 빠르고 정확한 스테퍼 및 갈바노미터 기반 통합 모션 컨트롤 유닛이 특징입니다. 또한 "벡터 '는 가장 복잡 한" 패턴' 에서도 조밀 한 추적 특성 을 보장 하기 위하여 강력 하면서도 극히 정확 한 "빔 '정렬 장치 를 갖추고 있다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector (LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector) 에는 고급 안전 시스템이 장착되어 있어 모든 민감한 구성 요소가 손상되지 않고 항상 보호됩니다. 가동 중 패턴 (pattern) 보기와 공구 손상 및 오염을 확인하는 데 사용할 수 있는 실시간 프로세스 모니터링 자산 (real-time process monitoring asset) 을 쉽게 볼 수 있는 강력한 조명 툴이 있습니다. 또한 NOVELLUS 벡터 (NOVELLUS Vector) 에는 추세 분석 및 데이터 로깅 모듈이 장착되어 있어 모든 레이어가 미리 정해진 사양에 따라 에칭되도록 합니다. LAM RESEARCH Vector의 유연성은 다양한 에칭 솔루션에 적합합니다. 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 및 통합 네트워킹 기능을 통해 작업을 간편하게 구성하고 다른 툴로 전송할 수 있습니다. Vector 의 개방형 아키텍처 (open architecture) 설계를 통해 다양한 공급업체가 제공하는 모든 소프트웨어와 완벽하게 호환됩니다. 이를 통해 사용자는 사용자 정의 프로세스 시퀀스 (custom process sequence) 와 레이어 조합 (layer combination) 을 구성하고 설정할 수 있으며, 다른 모델의 기존 작업 세트를 통합할 수 있습니다. 또한 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector는 바이어스, 이온 밀링, 딥 스크리닝, 탄소 나노 튜브 에칭 및 높은 종횡비 에칭과 같은 다양한 작업 별 기능을 수행 할 수 있습니다. 이 장비는 매우 낮은 소유 비용을 제공하도록 설계되었습니다. 단일 플랫폼 (platform) 과 통합형 챔버 (integrated chamber) 를 사용하면 투자 비용을 절감하고 프로세스 수익률을 향상시킬 수 있습니다. 마지막으로, NOVELLUS 벡터 (NOVELLUS Vector) 는 시장에서 가장 안정적이고 비용 효율적인 시스템 중 하나로, 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 을 한 단계 높이려는 비즈니스에 이상적인 솔루션입니다.