판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293649596

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT는 반도체 처리에 사용되는 반응 챔버입니다. 초고진공수준이 요구되는 순서별 화학물질 (sequence-specific chemistry) 에 대해 높은 처리량과 낮은 소유 비용을 제공할 수 있습니다. NOVELLUS Vector XT (NOVELLUS Vector XT) 는 여러 애플리케이션별 구성에서 고급 재료 처리를 위한 선도적인 툴로서, 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 과 같은 중요한 제조 단계에 적합합니다. 통합 장비로 설계된 LAM RESEARCH Vector XT는 고급 RPC (Rapid Process Control) 모듈과 함께 제공되므로 유연하고 정확한 프로세스 제어, 안정적이고 안전한 작동이 가능합니다. 벡터 XT (Vector XT) 의 성능은 프로세스 반복성과 정밀도가 높은 기존 시스템의 성능을 능가합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT (LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT) 는 단일 챔버에서 다중 단계 처리를 수행할 수 있으며, 이를 통해 여러 작업을 보다 짧은 시간 안에 완료할 수 있습니다. NOVELLUS Vector XT는 가스 상 (gas-phase) 또는 액체 상 (liquid-phase) 시스템으로 구성 될 수 있으므로 다양한 응용 프로그램이 가능합니다. 또한 LAM RESEARCH Vector XT에는 고급 난방/냉각 시스템이 있으며, 이를 통해 정확하고 반복 가능한 온도 조절이 가능합니다. 벡터 XT (Vector XT) 는 특허를 받은 다중 효과 유형의 배기 장치 (exhaust unit) 를 장착하여 배기의 효율성과 균일성을 최적화합니다. 배기기의 독특한 디자인은 백그라운드 압력이 낮아 탁월한 성능을 제공합니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT의 주요 특징은 고유 한 챔버 형상이며, 이는 기판 및 프로세스 구성의 고유 한 시퀀스를 허용합니다. NOVELLUS Vector XT는 적절한 공정 가스, 레이저 및 펌프와 함께 사용할 때 높은 수준의 정밀도 및 처리량을 달성 할 수 있습니다. LAM RESEARCH Vector XT는 탁월한 성능 외에도 높은 수준의 안정성, 안전성 및 안정성을 제공합니다. Vector XT (Vector XT) 는 효율적인 작동을 위해 모든 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소에 대해 엄격한 품질 관리 기능을 제공하며, 일반 소프트웨어 업데이트를 받습니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XT는 SEMI S2, S8, S18 및 MIL STD 45662를 포함한 최신 요구 사항 및 산업 표준을 준수합니다. NOVELLUS Vector XT는 반도체 프로세싱에서 탁월한 성능을 제공하도록 설계된 혁신적인 반응 챔버입니다. 첨단 기능과 고정밀 성능으로 대규모/소규모 (Small-Scale) 구성 프로세스를 모두 지원하는 최적의 솔루션입니다. LAM 리서치 벡터 XT (LAM RESEARCH Vector XT) 는 다양한 업계에서 사용할 수 있도록 안정적이고 비용 효율적인 고급 재료를 생산합니다.