판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9293142

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme은 반도체 제조 산업의 세계적 수준의 에처이자 애슈어입니다. 특히 중요한 에치 (etch) 및 애쉬 (ash) 작동에 대한 고급 정밀도 및 낮은 결함을 제공하도록 설계되었습니다. NOVELLUS Vector Extreme은 혁신적인 고밀도 듀얼 소스 플라즈마 처리 기술을 사용하여 라인 에치 (etch) 어플리케이션의 백엔드 (back end of line etch) 를 위한 향상된 제어, 낮은 입자 생성 및 더 높은 처리량을 제공합니다. 또한 광범위한 에치 화학 물질 (etch chemistry) 을 지원하여 다양한 프로세스 최적화 및 고급 노드 디바이스의 비용 효율적인 처리를 지원합니다. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME ETcher/asher는 다양한 장치 구조 및 응용 프로그램에 최대 유연성과 확장성을 제공하며, 광범위한 패키지 형식, 크기, 크기를 지원합니다. 구성 가능한 750mm 플랫폼이 특징이며 최대 3750mm2의 다이 크기를 처리 할 수 있습니다. 다른 주요 기능으로는 DVD 응용 프로그램의 에치 프로세스를 최적화하는 고급 물리적 모델링 기능인 Dynamic-Etch Technology (동적 에치 기술) 가 있습니다. 정확한 에치 프로세스 제어를 위한 독특한 피크 및 밸리 추적 높이 보상 기술 인 MAL (Micron-Accuracy Leveling); 프로세스 유연성을 극대화하는 응집력 개방형 아키텍처의 모듈식 작업 처리 시스템 인 EWC (Expandable Wafer Changer). 벡터 익스트림 (Vector Extreme) 의 리프트 오프 에치 (lift-off etch) 기능은 프로세싱하는 동안 척 (chuck) 을 가로 질러 웨이퍼를 이동할 필요를 최소화하고 웨이퍼를 가로지르는 압력 변화를 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한 LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME에는 최대 프로세스 안정성과 최소 입자 생성을 보장하는 고급 고온 수소 CVD (AHT-CVD) 와 같은 고급 청소 기능이 포함되어 있습니다. APM (Active Process Monitoring), ERBI (Process Adapter Autotuning) 및 ERBI (Extended Recipe Based Interfacing) 와 같은 강력한 프로세스 제어 기능을 통해 여러 대상을 정확하게 튜닝하여 에치 프로세스를 쉽게 최적화할 수 있습니다. NOVELLUS VECTOR EXTREME (NOVELLUS VECTOR EXTREME) 은 안정성과 견고성을 제공하며, 오늘날 가장 까다로운 반도체 장치 요구 사항을 충족하는 다양한 기능을 제공합니다. LAM 리서치 벡터 익스트림 (LAM RESEARCH Vector Extreme) 은 고급 기술, 높은 처리량, 구성을 통해 반도체 업계의 모든 에칭 및 애싱 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.