판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9099744

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme은 플라즈마 기반 반응성 이온 에칭 (RIE) 기술을 사용하여 매우 정확한 에칭 및 바디 바이어싱 응용 프로그램으로 웨이퍼를 처리하는 고급 에처/애셔입니다. 이 장비는 매우 정밀하고 균일한 선형 (linear) 에치 제어를 제공하며 다양한 웨이퍼 크기, 온도, 환경을 처리 할 수 있습니다. NOVELLUS 벡터 익스트림 (NOVELLUS Vector Extreme) 은 청소실 환경에서 사용하도록 설계되었으며, 최고 수준의 에칭 정밀도와 정확성을 보장하기 위해 서로 독립적으로 작동하는 두 개의 개별 하위 시스템으로 구성됩니다. 첫 번째 하위 시스템은 플라즈마 소스 시스템 (Plasma Source System) 으로, 반응성 이온 에치 (RIE) 플라즈마를 생성하여 거의 완벽한 정확도로 웨이퍼를 에치합니다. 두 번째 하위 시스템은 가스 전달 장치 (Gas Delivery Unit) 로, 에치 및 클리닝 가스를 정확하게 측정하여 최적의 에치 처리를 제공합니다. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME (LAM RESEARCH VECTOR EXTREME) 은 또한 높은 수준의 자동화를 통합하여 사용자가 에칭 프로파일의 매개변수를 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 또한, 기계는 입자 오염을 최소화하여 최대의 신뢰성 및 프로세스 제어를 위해 설계되었습니다. NOVELLUS VECTOR EXTREME (NOVELLUS VECTOR EXTREME) 은 확장 된 리소그래피 응용 분야에 이상적인 최소 30 nm 크기의 1% 이상의 프로세스 반복성을 달성 할 수 있습니다. VECTOR EXTREME (VECTOR EXTREME) 은 견고한 디자인과 뛰어난 기능으로 다양한 청소실 환경에서 다양한 에칭 및 바디 바이어싱 (body biasing) 작업을 위한 탁월한 선택입니다.