판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM #293813003

LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM은 반도체 재료 처리를위한 최첨단 다기능 클러스터 도구입니다. CVD (chemical vapor deposition), PVD (physical vapour deposition), PECVD (plasma-enhanced chemical vapour deposition) 등과 같은 여러 유형의 작업을 지원하는 고급 멀티 챔버 원자로 시스템입니다. NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM 원자로는 물리적 비활성화 기술을 사용하여 지형적으로 어려운 기판에서 벌크 메탈 (bulk metal) 의 성장을 가능하게하여 더 매끄러운 금속 필름 표면을 생성하도록 설계되었습니다. 정교한 설계를 통해 증착시 처리 매개변수 (예: 소스 전력, 온도) 를 동적으로 제어할 수 있습니다. 이것은 정확한 프로세스 안정성을 유지합니다. 이는 시간이 지남에 따라 반복 가능한, 고품질 결과에 필수적입니다. 다른 공정 흐름 및 기판 유형에 대해 원자로의 챔버 (chamber) 설정을 빠르게 변경할 수 있습니다. 얕은 챔버 (chamber) 는 더 높은 증착율과 더 나은 필름 두께 프로파일 제어를 지원하는 반면, 넓은 영역은 더 큰 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 MP (Multi Patterning) 옵션을 사용하면 고급 3D 구조의 멀티코어 또는 브리징 트렌치를 제작할 수 있습니다. 이것은 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램에 이상적입니다. LAM RESEARCH VECTOR EXPRESS AHM에는 프로세스를 실시간으로 모니터링하는 PCS (Process Control System) 및 음극 팩이 포함되어 있습니다. PCS 는 원자로 를 원하는 "응용프로그램 '에 맞게 쉽게 구성할 수 있게 하는 한편, 정확한 매개변수 설정과 반복 가능한 프로세스 결과를 보장한다. 음극 팩에는 30 가지가 넘는 음극 구성이 포함되어 있으며, 모두 필요에 따라 빠르게 변경할 수 있습니다. 이 툴의 자동 기능은 시간 및 자원 활용도 최적화에 도움이 됩니다. 또한 VECTOR EXPRESS AHM은 프로세스 편차의 경우 fail-safe 모니터링이 가능한 고급 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 견고하고 컴팩트한 디자인으로 뛰어난 냉각 및 차폐 (shielding) 기능을 제공하여 수명과 신뢰성을 높입니다. 마지막으로, 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 원자로를 쉽고 직관적으로 작동 할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM은 광범위한 반도체 재료 처리 활동에 대한 혁신적인 솔루션을 갖춘 고급 멀티 챔버 원자로 시스템입니다. 정교한 디자인, 뛰어난 성능, 사용자 친화적 인터페이스를 통해 모든 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 어플리케이션에 귀중한 자산입니다.