판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM #293644141

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express AHM은 대용량 반도체 제조를 위해 설계된 고급 고 생산성 화학 증기 증착 원자로입니다. 이 원자로는 집적 회로 장치 제조를 위해 대용량 유전체와 금속 (예: 고-k 유전체, 금속 합금) 을 증착 할 수 있습니다. 광범위한 증착 (deposition) 프로세스를 통해 다양한 응용 프로그램과 재료를 지원할 수 있습니다. NOVELLUS Vector Express AHM (Vector Express AHM) 은 모듈식 설계로, 기판 처리 및 처리량 요구 사항을 충족하도록 설치 및 설정이 용이합니다. 대형 자동화된 카세트로드 포트를 통해 웨이퍼를 손쉽게 로드, 언로드하고 트랙용 컨베이어 벨트 (Conveyor Belt) 시스템을 제공합니다. 고급 증착실 설계에는 프로세스 균일성 모니터링 및 제어를위한 계측 (instrumentation) 과 프로세스 조건 제어를 위한 자동화된 소프트웨어 (automated software) 가 포함됩니다. LAM RESEARCH Vector Express AHM은 또한 다양한 가스 유입 밸브를 갖추고 있으며, 이를 통해 다양한 증착 프로세스를 지원할 수 있습니다. 또한, 전구체 혼합 및 전달 시스템을 갖추고 있으며, 이는 필름 구성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것 은 증착 화학 을 정확 하게 충족 시켜, 질 이 높은 "필름 '을 만든다. 벡터 익스프레스 (Vector Express) AHM은 영화의 품질 외에도 생산성에 기여하는 다양한 기능을 제공합니다. 증착률이 높아 다른 CVD 원자로보다 높은 생산 처리량을 제공하며, 고급 프로세스 제어는 전체 웨이퍼 (wafer) 전체에서 더 많은 균일성을 보장합니다. 효율적인 자동 웨이퍼 (Automatic Wafer) 처리 시스템은 주기의 시간 및 소유 비용을 줄이는 반면, 통합 안전 기능은 운영자 보호를 보장합니다. 전반적으로 LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express AHM은 대용량 IC 장치 제조에 이상적인 CVD 원자로입니다. 고급 디자인과 기능을 통해 고품질 필름 (quality film) 의 증착을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션이 됩니다. 프로세스 제어 (process control), 효율성 (efficiency), 안전 (safety) 의 완벽한 조합으로 가장 까다로운 어플리케이션에 이상적인 선택이 됩니다.