판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM #293596604

LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM은 최첨단 고효율 원자로 장비입니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 은 정확한 사양을 충족하면서 운영 효율성을 최적화하고 다운타임을 줄일 수 있도록 설계되었습니다. NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM은 반도체 업계에서 사용할 수 있는 최고의 프로세스 기능과 성능을 제공합니다. 통합 질량 흐름 컨트롤러는 프로세스 안정성과 반복성을 극대화하여 반복 (repeatable) 및 일관된 부품 재생산을 보장하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH VECTOR EXPRESS AHM은 강력한 직관적인 제어 알고리즘과 함께 ICP2.0 (Intelligent Control Platform 2.0) 을 사용하여 실시간으로 장치 성능을 모니터링하고 조정하여 결과를 최적화하고 비용이 많이 드는 프로세스 편차를 방지합니다. 또한, 이 머신을 통해 고객은 특정 웨이퍼에 대한 레시피 링크를 포함하여 다중 레시피 (multi-recipe) 설정을 통해 프로세스 유연성을 향상시킬 수 있습니다. 이 툴은 또한 강력한 도량형 (metrology) 및 모니터링 (monitor) 옵션을 제공하여 성능 드리프트를 신속하게 감지하고 교정 작업을 즉시 식별합니다. 여기에는 예측 유지 관리 (Predictive Maintenance) 및 지능형 프로세스 제어를 위한 고유한 하드웨어/소프트웨어 기술이 포함되어 있습니다. VECTOR EXPRESS AHM은 열 예산을 최적화하기 위해 고급 난방 및 냉각 기술을 사용합니다. 이 자산의 고효율 열 교환기 (HPI) 기술은 원자로의 균일 한 난방 및 냉각을 가능하게하여 생산 수율이 향상됩니다. 재료 호환성 측면에서 LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM은 광범위한 고순도 및 특수 재료를 수용하도록 설계되었습니다. 여기에는 반응성 처리를위한 이국적인 직물, 도자기 및 특수 공정 가스가 포함됩니다. NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM은 안전 정격 전원 공급 장치, 폭발 방지 설계, 자동 예방 유지 관리 및 자체 진단 모델 등 최신 안전 표준을 제공합니다. 고급 기술과 LAM RESEARCH VECTOR EXPRESS AHM의 강력한 디자인으로 뛰어난 성능과 최고 수준의 프로세스 안정성을 제공합니다. 따라서 VECTOR EXPRESS AHM은 생산 효율을 극대화하고 장비 다운타임을 줄일 수 있는 모든 고객에게 적합합니다.