판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9353432

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed (LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed) 는 복잡한, 고온 및 고순도 화학 공정을 수행 할 때 고급 처리 성능 및 효율성을 제공하는 반응성 처리 장비입니다. 최대 600 ° C 의 온도에서 작동하며, 높은 수준의 시스템 성능, 품질 관리 (Quality Control) 기능을 통해 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. NOVELLUS Speed Reactor의 핵심 구성 요소는 공정 챔버, 이중 가스 소스, 플라즈마 동력 및 여러 웨이퍼 베이킹 오븐입니다. 이 약실 은 가공 하는 데 필요 한 고온 을 견디기 위해 필요 한 절연 을 지지 하는 견고 한 "스테인레스 '강" 셸' 로 만들어졌다. 약실 안 에는 "웨이퍼 '를 처리 할 수 있는" 서셉터' 가 들어 있는 회전식 "플래튼 '이 있다. 이중 "가스 '원 은 공정 의 각 단계 에 필요 한 필요 한 공정" 가스' 를 공급 한다. "플라즈마 '동력원 은 공정" 플라즈마' 를 정확 하게 제어 하기 위하여 고강도 "플라즈마 '를 만들어 공정" 가스' 를 더욱 정련 하는 데 사용 된다. 오븐은 열 후 (preheat) 및 열 후 (post-heat) 웨이퍼를 사용하여 처리 성능을 향상시키고 원하는 결과를 얻습니다. 플라즈마 강화 공정의 경우 LAM RESEARCH Speed는 수소, 산소, 질소, 아르곤, 암모니아, 염소 및 기타 다양한 화합물을 포함한 다양한 가스를 처리 할 수 있습니다. 물리적 증기 증착 공정의 경우, Speed에는 전자 빔, 램프, 쿼츠 보트 등 다양한 휘발성 소스가 장착됩니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed는 NOVELLUS 처리 속도 (빠른 온도 경사 속도), 챔버 균일성 및 안정된 프로세스를 만들 수있는 매우 저압, 저에너지 환경을 제공하는 기능에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 또한, LAM RESEARCH Speed는 여러 가지 플라즈마 소스, 고급 제어 시스템 및 정교한 도량형 장치를 통해 증착률, 균일성 및 웨이퍼 수율 측면에서 우수한 프로세스 성능을 달성 할 수 있습니다. 속도 (Speed) 는 고급 프로세스 제조 및 장치 제조를 위한 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 선택입니다. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed (LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed) 는 강력한 구성, 정밀 제어 및 뛰어난 프로세스 품질을 제공하여 신뢰할 수 있는 고성능 처리 장치를 찾는 사람들에게 탁월한 선택입니다.