판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9167146

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed (LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed) 는 효율적이고 사용자 친화적 인 디자인에서 최고의 유연성, 최대한의 처리량, 뛰어난 제어 및 뛰어난 증착 균일성을 제공하는 혁신적인 배치 원자로입니다. 이 원자로는 고급 IC 설계 및 제조를 위해 리소그래피 통합에 대한 큰 발전을 나타냅니다. 이 첨단 원자로는 하나의 플랫폼 내에서 에치 (etch), 증착 (deposition), 청소 (cleaning) 와 같은 작업을 수행하며, 생산의 용량과 복잡성의 로컬 커스터마이징을 허용합니다. 원자로는 여러 컴퓨터 제어 공정 가스의 조합을 사용하여 실리콘 질화물 (silicon nitride), 폴리 실리콘 (polysilicon), 텅스텐 (tungsten) 과 같은 고급 재료를 사용하여 표면을 비정질 및 스퍼터 재료와 함께 사용자 정의하여 수정할 수 있습니다. 원자로에는 더 빠르고, 더 통제되고, 더 효율적인 프로세스를 가능하게 하는 몇 가지 고유 한 모듈이 장착되어 있습니다. 기본 모듈은 이중 전극 시스템 (DES) 입니다. DES 는 프로세스 조건에 대해 매우 정확하게 제어하는 한편, 처리 속도 (throughput rate) 도 높여줍니다. 원자로에는 다양한 재료의 증착 특성을 최적화하는 "스플릿 제트 (Split Jet)" 노즐 시스템도 장착되어 있습니다. 또한 노즐 (nozzle) 을 사용하면 전체 비즈니스 웨이퍼에서 더 균일한 레이어 커버리지와 더 나은 클리닝 성능을 얻을 수 있습니다. 노벨 러스 (NOVELLUS) 이 원자로의 속도는 웨이퍼 및 기타 프로세스 컴포넌트를 처리하기 위해 자동으로 highLAM RESEARCH Speed 로봇을 사용하여 더욱 향상됩니다. 이 로봇은 처리량을 높이고, 수작업을 줄이고, 오염의 가능성을 제거합니다. 원자로의 독특한 교차 흐름 설계는 매우 효율적이며, 최대 웨이퍼 처리 속도를 제공합니다. 원자로에는 전기 및 화학 연동 시스템, 비상 종결 스위치, 구성 가능한 공정 처리, 비활성 가스 연동 (inert gas interlock) 등 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. NOVELLUS Reactor는 사용자에게 친숙한 디자인과 뛰어난 프로세스 제어를 제공합니다. 원자로 (Reactor) 는 다른 프로세스 컴포넌트와 통합되도록 만들어졌으며, 효율성과 유연성이 극대화된 고급 반도체 (Advanced Semiconductor) 를 생산할 수 있습니다.