판매용 중고 LAM RESEARCH / NOVELLUS Sequel #293805114

LAM RESEARCH/NOVELLUS Sequel은 고급 다기능 원자로 장비입니다. 반도체, 태양열 (solar), 디스플레이 (display) 소재 등 다양한 고급 소재와 부품의 빠른 시제품 제작과 생산이 가능하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 단일 엔클로저에 포함된 여러 공구 (Tool) 의 물리적 (Physical) 및 화학적 (Chemical) 처리 컴포넌트로 구성됩니다. NOVELLUS Sequel 장치의 중심에는 고급 리니어 모터 (Linear Motor) 가 있으며, 이는 다른 상용 기계에 비해 가장 높은 위치 정밀도 및 처리량을 제공합니다. 선형 모션 아키텍처는 또한 샤프트 실즈 (shaft seal), 드라이브 메커니즘 (drive mechanism) 등과 같은 많은 추가 요소가 필요하지 않습니다. 따라서 부품이 추가될 필요가 없습니다. 따라서 공구의 복잡성과 비용이 줄어듭니다. 또한 고급 소프트웨어 패키지 (Advanced Software Package) 는 다양한 프로세스 최적화 옵션과 기술을 제공하며, 따라서 사용자는 다운타임을 최소화하면서 고품질 구성 요소를 일관되게 생산할 수 있습니다. 자산은 다재다능하며 물리적 증기 증착 (PVD), 화학 증기 증착 (CVD), 도금 및 산화, 어닐링 등 여러 재료 프로세스에 대해 구성 될 수 있습니다. LAM RESEARCH Sequel은 반도체, 평면 패널 디스플레이, 태양전지 제작 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 대규모 운영 프로세스에 적합하며, 모듈식 (modular) 구성을 통해 쉽게 확장하고 재구성할 수 있습니다. 이 모델은 또한 높은 수준의 프로세스 제어 및 신뢰성을 제공합니다. 종합적인 제어 인터페이스 (Control Interface) 를 통해 연산자는 속도, 정확도가 낮은 프로세스 매개변수를 쉽게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 고도로 정제된 이 장비는 다운타임을 최소화하면서 수년간 안정적인 서비스를 제공합니다. 우수한 성능, 유연성, 경제성을 갖춘 Sequel 은 최신 생산 환경을 위한 최고의 원자로 시스템입니다.